| 标准编号 | GB/T 35158-2017 (GB/T35158-2017) | | 中文名称 | 俄歇电子能谱仪检定方法 | | 英文名称 | Verification method for Auger electron spectrometers | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 62,641 | | 发布日期 | 2017-12-29 | | 实施日期 | 2018-11-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 35158-2017
Verification method for Auger electron spectrometers
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
俄歇电子能谱仪检定方法
2017-12-29发布
2018-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 缩略语和符号 1
3.1 缩略语 1
3.2 符号 1
4 方法原理与系统构成 4
4.1 方法原理 4
4.2 系统构成 4
5 计量单位与技术指标 4
5.1 计量单位 4
5.2 技术指标 5
6 检定环境 6
6.1 外观要求 6
6.2 安装场所要求 6
6.3 电源 6
6.4 环境温度与湿度 6
7 检定项目与方法 6
7.1 能量标检定 6
7.2 强度标检定 24
7.3 横向分辨率检定 31
7.4 离子枪检定 40
7.5 荷电控制与校正检定 50
8 报告检定结果 55
9 检定周期 55
参考文献 56
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位.厦门大学、清华大学。
本标准起草人.姚文清、岑丹霞、张增明、徐建、刘芬、王水菊。
引 言
俄歇电子能谱仪(AES)广泛用于材料的实验性和常规性表面与界面分析,为纳米尺度的表面分析
仪器。我国目前有多家公司几十台不同型号的该类仪器。由于没有合适的检定方法的综合性国家标
准,仪器的能量标、强度标,溅射速率、横向分辨率等各项性能标准不统一,因此需要制定检定方法的国
家标准,以实现获取的谱图数据的科学性和可比性,这对于促进我国光电信息、能源及新材料等相关领
域的科技与产业的发展很有意义。
俄歇电子能谱仪检定方法
1 范围
本标准适用于激发源为电子束,且带有溅射清洁用离子枪的俄歇电子能谱仪。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
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GB/T 28632-2012 表面化学分析 俄歇电子能谱和X射线光电子能谱 横向分辨率的测定
GB/T 29558-2013 表面化学分析 俄歇电子能谱 谱仪强度标的重复性和一致性
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GB/T 29732-2013 表面化学分析 中等分辨率俄歇电子能谱仪 元素分析的能量标校准
GB/T 32998-2016 表面化学分析 俄歇电子能谱 荷电控制与校正方法报告的规范要求
ISO 16531.2013 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及相应的
ISO 17109.20......
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