| 标准编号 | GB/T 36705-2018 (GB/T36705-2018) | | 中文名称 | 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法 | | 英文名称 | Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates -- Raman spectrum method | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H21 | | 国际标准分类 | 77.040 | | 字数估计 | 10,167 | | 发布日期 | 2018-09-17 | | 实施日期 | 2019-06-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36705-2018
Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates - Raman spectrum method
ICS 77.040
H21
中华人民共和国国家标准
氮化镓衬底片载流子浓度的测试
拉曼光谱法
2018-09-17发布
2019-06-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中关村天
合宽禁带半导体技术创新联盟、有色金属技术经济研究院、东莞市中镓半导体科技有限公司、中国电子
技术标准化研究院。
本标准主要起草人:郑树楠、张育民、石林、邱永鑫、王建峰、徐科、付雪涛、杨素心、丁晓民、陆敏、
杨建。
氮化镓衬底片载流子浓度的测试
拉曼光谱法
1 范围
本标准规定了利用拉曼光谱测试N型氮化镓衬底片载流子浓度的方法。
本标准适用于在蓝宝石、碳化硅、硅、氮化镓材料上生长的N型氮化镓衬底片载流子浓度的测试。
测试范围:1×1017cm-3~1×1020cm-3。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 14264 半导体材料术语
3 术语和定义
GB/T 14264界定的术语和定义适用于本文件。
4 方法提要
在一定温度下,物质晶格中的原子各自在其平衡位置附近作微振动(晶格振动),晶格振动的能量用
声子表示。氮化镓材料中一定浓度的载流子与晶格振动相互作用,可以形成纵光学声子与载流子的耦
合模(LOphonon-plasmoncoupledmode,简称LOPC),该耦合模可以在拉曼光谱上出现低频支、高频
子浓度的变化而改变,通过峰位的变化可计算出载流子浓度。本方法通过拉曼光谱可实现对N型氮化
镓衬底片载流子浓度的微区测试,测量直径为0.7μm~2μm。
5 干扰因素
5.1 拉曼光谱常用来检测薄膜材料中的应力,因此需要在测试时考虑应力引入的影响。当载流子浓度
较低时(约< 3×1017cm-3),以极化声子模A1(LO)的峰位对载流子浓度进行计算,为了消除应力对极
化声子模A1(LO)峰位产生的影响,可采用氮化镓材料拉曼光谱中E2H峰位来标定样品的应力状态,根
据式(1)推得极化声子模A1(LO......
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