| 标准编号 | GB/T 36706-2018 (GB/T36706-2018) | | 中文名称 | 磷化铟多晶 | | 英文名称 | Polycrystalline indium phosphide | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 字数估计 | 6,660 | | 发布日期 | 2018-09-17 | | 实施日期 | 2019-06-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36706-2018
Polycrystalline indium phosphide
ICS 29.045
H83
中华人民共和国国家标准
磷 化 铟 多 晶
2018-09-17发布
2019-06-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本标准起草单位:南京金美镓业有限公司、有色金属技术经济研究院、中国电子科技集团公司第十
三研究所、广东先导稀材股份有限公司、石家庄麦特达电子科技有限公司、中国科学院半导体研究所、云
南中科鑫圆晶体材料有限公司。
本标准主要起草人:范家骅、邢志国、杨桂芳、刘文兵、李素青、王阳、李晓岚、孙聂枫、刘惠生、
赵有文、惠峰、朱刘、刘永豪。
磷 化 铟 多 晶
1 范围
本标准规定了磷化铟多晶的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货
单(或合同)内容。
本标准适用于生产磷化铟单晶用的磷化铟多晶。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1423 贵金属及其合金密度的测试方法
GB/T 4326 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
GB/T 14844 半导体材料牌号表示方法
3 要求
3.1 牌号
磷化铟多晶的牌号表示应符合GB/T 14844的规定。
3.2 电学性能
磷化铟多晶的电学性能应符合表1的规定。
表1 电学性能
项目
要求
A级 B级 C级 D级 E级
载流子迁移率
cm2/(V·s)
≥4500 ≥3500 ≥3000 ≥2500 ≥2500
载流子浓度
atoms/cm3
≤3×1015 ≤6×1015 ≤8×1015 ≤1×1016 ≤3×1016
3.3 密度
磷化铟多晶的理论密度为4.787g/cm3,......
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