| 标准编号 | GB/T 36969-2018 (GB/T36969-2018) | | 中文名称 | 纳米技术 原子力显微术测定纳米薄膜厚度的方法 | | 英文名称 | Nanotechnology -- Method for the measurement of the nanofilm-thickness by atomic force microscopy | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | J04 | | 国际标准分类 | 17.040.20 | | 字数估计 | 10,167 | | 发布日期 | 2018-12-28 | | 实施日期 | 2018-12-28 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36969-2018
Nanotechnology--Method for the measurement of the nanofilm--thickness by atomic force microscopy
ICS 17.040.20
J04
中华人民共和国国家标准
纳米技术 原子力显微术测定
纳米薄膜厚度的方法
2018-12-28发布
2018-12-28实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
目次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 原理 1
5 测试条件 2
5.1 环境条件 2
5.2 操作条件 2
6 设备 2
6.1 原子力显微镜 2
6.2 探针的选择 2
6.3 仪器的校准 2
7 样品 2
7.1 样品的制备 2
7.2 样品的清洗 2
8 测试步骤 2
8.1 采集图像数据前的准备 2
8.2 图像数据的采集 2
9 数据处理与计算 3
10 重复性和再现性 4
11 测试报告 4
附录A(资料性附录) 薄膜台阶的制备 5
参考文献 6
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:上海交通大学、纳米技术及应用国家工程研究中心。
本标准主要起草人:李慧琴、金承钰、梁齐、何丹农、韦菲菲。
纳米技术 原子力显微术测定
纳米薄膜厚度的方法
1 范围
本标准规定了使用原子力显微术(AFM)测量纳米薄膜厚度的原理、测试条件、设备、样品、测试步
骤和数据处理。
本标准适用于表面均匀、平整的纳米范围厚度的无机材料薄膜。较厚的和一些有机薄膜的膜厚测
定也可参照执行。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 31227 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
JJF1059.1-2012 测量不确定度评定与表示
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
通过检测探针和样品表面的相互作用力(吸引力或排斥力)来控制探针和样品间的距离从而获得表
面形貌的扫描探针显微镜技术。
[GB/T 27760-2011,定义3.1]
3.2
扫描长度 scanlength
从开始到结束一次扫描的距离。
3.3
全幅扫描 raster
探针y方向上逐步移动时在x方向上反复扫描,也指这样的运动所扫描的区域。
[GB/T 31226-2014,定义3.1.14]
4 原理
首先利用原子力显微镜(AFM)测试得到包含纳米薄膜台阶在内的微观形貌。原子力显微镜是使
用针尖接触样品表面,用同距离有关的针尖与样品间相互作用力作为反馈,反馈系统根据检测器电压的
变化不断调整针尖或样品z......
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