| 标准编号 | GB/T 38867-2020 (GB/T38867-2020) | | 中文名称 | 电子工业用四氯化硅 | | 英文名称 | Silicon tetrachloride for electronic industry | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 14,119 | | 发布日期 | 2020-07-21 | | 实施日期 | 2021-02-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 38867-2020
Silicon tetrachloride for electronic industry
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用四氯化硅
2020-07-21发布
2021-02-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:湖北晶星科技股份有限公司、湖北省标准化与质量研究院、洛阳中硅高科技有限
公司、唐山三孚电子材料有限公司、湖北光谷标准创新科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、浙江
西亚特电子材料有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海市计量测试
技术研究院、联雄投资(上海)有限公司、随州市信息与标准化所、达州市质量技术监督检验测试中心、
西南化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人:徐德、张国光、黄娣、刘畅、杨剑、赵雄、楚东旭、王春英、戴帅、张竞、黄国菲、
廖恒易、陈艳珊、杨利、于青玉、方华、曹作斌、曲庆、陈鹰、李春华、黄辉、谭鹏程、邓远方、周鹏云、徐龙、
赵帅德、唐霞梅。
电子工业用四氯化硅
1 范围
本标准规定了电子工业用四氯化硅的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、储存及安全
的要求。
本标准适用于工业四氯化硅精制提纯后的电子工业用四氯化硅。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
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GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 11446.1-2013 电子级水
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GB/T 34972 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法
TSGR0006 气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例(2002年1月26日中华人民共和国国务院令第344号公布,2011年2月
16日国务院第144次常务会议修订通过)
特种设备安全监察条例......
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