| 标准编号 | GB/T 39163-2020 (GB/T39163-2020) | | 中文名称 | 靶材与背板结合强度测试方法 | | 英文名称 | Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H22 | | 国际标准分类 | 19.060 | | 字数估计 | 12,132 | | 发布日期 | 2020-11-19 | | 实施日期 | 2021-10-01 | | 引用标准 | GB/T 228.1-2010; GB/T 228.2; GB/T 8170; GB/T 10623; GB/T 16825.1 | | 标准依据 | 国家标准公告2020年第26号 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。 | GB/T 39163-2020
(Target and backplane bonding strength test method)
ICS 19.060
H22
中华人民共和国国家标准
靶材与背板结合强度测试方法
2020-11-19发布
2021-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有
限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司。
本标准主要起草人:丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、
袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军。
靶材与背板结合强度测试方法
1 范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注:靶材与背板结合方式包括钎焊(传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等)、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦
焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 228.1-2010 金属材料 拉伸试验 第1部分:室温试验方法
GB/T 228.2 金属材料 拉伸试验 第2部分:高温试验方法
GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判定
GB/T 10623 金属材料 力学性能试验术语
GB/T 16825.1 静力单轴试验机的检验 第1部分:拉力和(或)压力试验机测力系统的检验与
校准
3 术语和定义
GB/T 228.1-2010界定的以及下列术语和定义适用于本文件。为了便于使用,以下重复列出了
GB/T 228.1-2010中的某些术语和定义。
3.1
靶材 target
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形
式脱离阴极而在阳极表面沉积。由靶坯和背板组成。
3.2
靶坯
阴极上用作溅射材料的部分。
3.3
背板
用来支撑或固定靶坯的部分。
3.4
......
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