| 标准编号 | GB/T 40418-2021 (GB/T40418-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Electronic specialty gas - Fluoromethane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 字数估计 | 14,144 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 40418-2021
Electronic specialty gas -- Fluoromethane
ICS 71.100.20
CCSG86
中华人民共和国国家标准
电子特气 氟甲烷
2021-08-20发布
2022-03-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本文件起草单位:浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体
有限公司、衢州氟硅技术研究院、中化蓝天氟材料有限公司、福建久策气体股份有限公司、广东华特气体
股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、
上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器
设备有限公司、联雄投资(上海)有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限
公司、和立气体(上海)有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西
南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。
本文件主要起草人:史婉君、张建君、方小青、孙福楠、付梦月、侯玲玲、郑秋艳、董云海、谭慧、
褚人财、颜光清、何经余、曹素英、傅铸红、陈艳珊、马建修、程紧、叶相平、王新喜、孙猛、陈洁、吴靓、方华、
孙赟珑、何波、黄小强、黄辉、宫兵、王大为、易达文、李阳、梁永强、梁成科、高静、吴克安、白占旗、徐娇、
叶树全、赖晓峰、方艾黎、周鹏云、张亮。
电子特气 氟甲烷
1 范围
本文件规定了电子级氟甲烷的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输及贮存的要求。
本文件适用于由工业氟甲烷提纯制备的电子级氟甲烷。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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TSG......
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