| 标准编号 | GB/T 43104-2023 (GB/T43104-2023) | | 中文名称 | 碳基薄膜 分类及命名 | | 英文名称 | Carbon based films - Classification and designations | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | A29 | | 国际标准分类 | 25.220.20 | | 字数估计 | 14,114 | | 发布日期 | 2023-09-07 | | 实施日期 | 2024-04-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 43104-2023: 碳基薄膜 分类及命名
ICS 25.220.20
CCSA29
中华人民共和国国家标准
碳基薄膜 分类及命名
(ISO 20523:2017,IDT)
2023-09-07发布
2024-04-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 缩略语 1
5 沉积 2
6 分类 2
6.1 概述 2
6.2 主要的碳基薄膜类型 2
6.3 分类标准 2
6.4 薄膜结构 3
6.5 分类表 3
7 类聚合物碳基薄膜 5
8 非晶碳基薄膜 5
9 金刚石薄膜 6
10 石墨薄膜 6
附录A(资料性) 沉积方法 7
附录B(资料性) 表征方法 8
参考文献 9
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 20523:2017《碳基薄膜 分类及命名》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国机械工业联合会提出。
本文件由全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会(SAC/TC57)归口。
本文件起草单位:中国科学院宁波材料技术与工程研究所、武汉材料保护研究所有限公司、宁波新
材料测试评价中心有限公司、中国科学院兰州化学物理研究所、广东省科学院新材料研究所、中国矿业
大学、东莞市华升真空镀膜科技有限公司。
本文件主要起草人:汪爱英、段海涛、郭鹏、柯培玲、谢开锋、王鹏、柴利强、林松盛、石倩、李晓伟、
林海天。
碳基薄膜 分类及命名
1 范围
本文件规定了碳基薄膜的分类、命名及简称。本文件所述的碳基薄膜是以碳为主要成分,并由物理
气相沉积(PVD)或化学气相沉积(CVD)制备所得的薄膜。碳基薄膜包括非晶碳基薄膜[又称为类金刚
石薄膜(DLC)],CVD金刚石薄膜、石墨薄膜和类聚合物碳基薄膜。
本文件适用于工业规模生产的碳基薄膜。本文件不适用于尚未实现工业规模生产的其余种类碳基
薄膜。
本文件只涉及碳基薄膜材料,不涉及由主体功能层和上/下附加层组成的复合涂层。
薄膜中各层组分和/或性能随厚度变化的薄膜称为梯度薄膜。本文件涉及的碳基薄膜均指非梯度
薄膜。
碳基薄膜可能包含如氢、金属或其他元素。其中金属成分还包含金属碳化物。本文件涵盖的掺杂
碳基薄膜只包括以碳元素为主要成分的薄膜体系。对于碳以碳化物形式存在的含碳基薄膜,也不适用
于本文件中的金属掺杂非晶碳基薄膜(a-C:Me,a-C:H:Me)体系。
本文件不适用于富勒烯、碳纳米管、石墨烯、石墨炔等碳材料。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
ISO 和IEC 维护的标准化工作中使用的术语数据网址如下:
---ISO 在线浏览平台:http://www.iso.org/obp;
3.1
基底 substrate
用于薄膜沉积的工件或材料。
3.2
纳米晶 nanocrystaline
沿薄膜生长面,晶粒尺寸在1......
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