[PDF] GB/T 43894.3-2026 - 英文版
| 标准号码 | 美元 | 购买PDF | 工期 | 标准名称(英文版) |
| GB/T 43894.3-2026 | RFQ | 点击询价 | <=3 | 半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR） |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | GB/T 43894.3-2026 (GB/T43894.3-2026) |
| 中文名称 | 半导体晶片近边缘几何形态评价 第3部分：扇形区域平整度法（ESFQR、ESFQD、ESBIR） |
| 英文名称 | (Practice for determining semiconductor wafer near-edge geometry - Part 3: Sector area flatness (ESFQR, ESFQD, ESBIR) ) |
| 行业 | 国家标准 (推荐) |
| 实施日期 | 2027-02-01 |
| 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 |
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