| 标准编号 | GB/T 45772-2025 (GB/T45772-2025) | | 中文名称 | 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱分析中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正程序 | | 英文名称 | Surface chemical analysis - Electron spectroscopies - Procedures for identifying, estimating and correcting for unintended degradation by X-rays in a material undergoing analysis by X-ray photoelectron spectroscopy | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 22,25 | | 发布日期 | 2025-06-30 | | 实施日期 | 2026-01-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 45772-2025: 表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱分析中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正程序
ICS 71.040.40
CCSG04
中华人民共和国国家标准
表面化学分析 电子能谱 X射线光电子
能谱分析中X射线致材料非预期损伤的
识别、评估和校正程序
(ISO 18554:2016,IDT)
2025-06-30发布
2026-01-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 符号和缩略语 1
5 样品损伤 2
5.1 损伤原因 2
5.2 样品损伤 2
5.3 识别和校正损伤的方法 3
5.4 评估损伤的可能性 5
5.5 损伤报告 5
5.6 最大程度减少损伤的建议程序 5
5.7 污染的影响 6
附录A(资料性) 已报道分析中损伤的材料 7
附录B(资料性) 损伤案例 8
附录C(资料性) 污染层的校正 13
参考文献 14
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件等同采用ISO 18554:2016《表面化学分析 电子能谱 X射线光电子能谱分析中X射线致
材料非预期损伤的识别、评估和校正程序》。
本文件增加了“规范性引用文件”一章。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国表面化学分析标准化技术委员会(SAC/TC608)提出并归口。
本文件起草单位:新疆大学、清华大学、大连大学、南京信息工程大学、南京大学、中国科学院化学研
究所、北京师范大学、中国工程物理研究院材料研究所。
本文件主要起草人:姚文清、段建霞、王舰、杨立平、高星星、高飞、孙敬方、王岩华、徐同广、刘芬、
刘浪、华瑞茂、吴正龙、伏晓国。
引 言
X射线光电子能谱(XPS)通常以软X射线为激发源,测量试样表面逸出的光电子和俄歇电子。在
其最广泛使用的模式下,X射线通量强度低,分布范围大。因此,该技术通常被认为是用于材料表面化
学分析手段中破坏性最小的技术之一。然而,自从其作为表面分析技术使用以来,已有报告指出在检测
过程中试样表面元素组成可能会发生改变。对于某些材料,需要考虑检测过程中对试样表面元素组分
造成的损伤,并在可能的情况下对损伤进行修正[1]~[4]。本文件针对上述问题,提出了一种在XPS分析
中X射线致材料非预期损伤的识别、评估和校正的方法。
表面化学分析 电子能谱 X射线光电子
能谱分析中X射线致材料非预期损伤的
识别、评估和校正程序
1 范围
本文件规定了X射线光电子能谱(XPS)分析中,由X射线辐照导致试样元素组成或化学态的非预
期性损伤的识别、评估和校正方法的要求。
本文件仅适用于X射线引起的非预期性损伤,导致光电子谱峰强度的降低或增加小于30%。本文
件不涉及不同类型材料之间的比较,也不涉及发生损伤的机制、深度或化学性质。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
区域 region
选择光激发用于采谱和分析的部分。
注1:可选择该区域,因为它包含给定元素的主峰或次峰,或表示该能量范围内背景的形状或斜率,例如精细扫描。
注2:区域的这种用法不与分析区域相混淆。
3.2
零点 timezero
X射线辐照样品的起始时间。
4 符号和缩略语
下列符号和缩略语适用于本文件。
AZ:由给定元素或化学态的退化推导出的It,Z的线性变化率
C:定量计算得出的污染碳原子百分数
Dcontamination:样品表面污染层的厚度
DI:损伤指数
E:检测到的电子的动能,单位为eV
FWHM:半高峰宽
IZ,corrected:修正污染层形成后给定光......
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