路径: 主页 > GB/T > 第748页 > GB/T 47506-2026 | 标准编号 | GB/T 47506-2026 (GB/T47506-2026) | | 中文名称 | 洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求 | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments - Technical requirements for microvibration control | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 国际标准分类 | 13.040.35 | | 字数估计 | 18,125 | | 发布日期 | 2026-04-30 | | 实施日期 | 2026-11-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 47506-2026: 洁净室及相关受控环境 微振动控制技术要求
GB/T 47506-2026 英文版: Cleanrooms and associated controlled environments - Technical requirements for microvibration control
ICS 13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
洁净室及相关受控环境
微振动控制技术要求
2026-04-30发布
2026-11-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
1 范围
本文件规定了洁净室及相关受控环境微振动控制的方法和措施、材料、作业、检测和监测要求。
本文件适用于洁净室及相关受控环境的微振动控制。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
4 一般要求
4.1 洁净室生产、实验、测量用精密设备及仪器的容许振动值应根据其技术要求确定。典型精密设备
及仪器的容许振动值见附录A。
4.2 洁净室结构、精密设备及仪器隔振装置的微振动控制要求应根据洁净室生产、实验、测量用精密设
备及仪器的容许振动值或工艺要求确定。
4.3 应根据洁净室的微振动控制要求,识别出可能影响洁净室微振动环境的因素,并进行风险评估。
5 控制方法和措施
5.1 控制方法
洁净室微振动控制方法如下:
---洁净室内部和外部振源可通过隔振或传递路径阻隔等方法进行;
---洁净室结构可通过增加质量、提高刚度、增加阻尼、设置吸振器等方法进行;
---精密设备及仪器可通过被动控制、主动控制、被动和主动混合控制隔振方法进行。
5.2 控制措施
5.2.1 振源控制
洁净室内部和外部的振源控制采取以下措施:
---洁净室宜远离高铁、地铁、高速公路、重型机械制造厂房等强振源区域;
---可设置隔振沟、隔振屏障隔离洁净室外部的交通振动、施工振动;
---可设置隔振缝降低洁净室外部动力设备和管道的振动影响;
---可设置隔振垫、钢弹簧或空气弹簧等隔振装置隔离洁净室内部和外部的动力设备振动、管道
振动;
注:电子洁净厂房的动力设备和管道振动控制及隔振措施示例见附录B。
---当空调机房、动力站房的动力设备和管道运行产生的噪声较大时,宜铺设浮筑板、采用吸声墙
板和吸声吊顶等减小噪声和振动;
---动力设备宜集中分区布置,远离洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器;
---宜采用运行平稳、低噪声的动力设备;
---动力管道宜在穿过洁净室墙板位置处设置隔振支吊架,在进入洁净室前宜设置柔性接头;
---动力管道应控制管道内介质的流速。
5.2.2 洁净室结构微振动控制
洁净室结构微振动控制符合下列规定:
---洁净室地基基础宜建立在土质较坚硬或基岩埋藏较浅的地区;
---在洁净室内有微振动控制要求的精密设备及仪器区域,宜采用减小柱距、增加梁柱的截面尺寸
和楼板厚度、设置剪力墙或支撑等增加刚度和质量的措施;
---应根据洁净度要求确定洁净室楼盖结构的气流开孔数量和尺寸;
---洁净壁板、高架地板应保证足够刚度。
5.2.3 精密设备及仪器微振动控制
洁净室内精密设备及仪器微振动控制符合下列规定:
---精密设备及仪器可采用独立基础、刚性基台、隔振装置等措施;
---刚性基台上宜根据洁净度要求设置气流孔洞;
---采用隔振装置时,应评估洁净室内气流对隔振性能的影响;
---采用空气弹簧隔振装置时,应对气源和隔振装置进行净化处理;气源的洁净度等级不应低于洁
净室要求。
6 材料要求
6.1 洁净室内独立基础、刚性基台和隔振装置的表面材料应满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要
求,并对可能遇到的化学品应有耐受性,表面应易于清洁。
6.2 洁净室内刚性基台、隔振装置与结构的连接材料以及检测和监测传感器与被测物体的固定材料应
满足洁净室的相应洁净等级、防静电等要求。
6.3 洁净室内刚性基台和隔振装置与结构的连接部位、隔振缝、隔振沟的填充和密封材料应满足洁净
室的相应洁净等级、防静电等要求。
7 作业要求
7.1 人员
洁净室空态后进行微振动检测以及刚性基台和隔振装置的制作、搬运、安装和调试时,人员着装和
行为规范应满足洁净室相应洁净等级要求。
7.2 制作、搬运、安装等要求
7.2.1 洁净室内预制刚性基台宜采用结构胶、环氧砂浆等方式与结构可靠连接,连接处应采用环氧涂
层封闭。
7.2.2 洁净室内独立基础与地面之间应填充并密封。
7.2.3 洁净室内隔振缝、隔振沟应填充并密封。
7.2.4 刚性基台和隔振装置的制作、搬运和安装宜在空态之前完成。安装完毕后,应用无尘布对刚性
基台、隔振装置外表面进行擦拭。
7.2.5 空态后洁净室内刚性基台和隔振装置的制作、搬运和安装符合下列规定。
---刚性基台和隔振装置的运输通道及作业区域应与周边环境进行物理隔离,在运输通道进入洁
净室前宜设置洁净缓冲区。
---刚性基台和隔振装置的搬运及安装工具应采用洁净胶带包裹或涂漆等措施进行净化处理。采
用气垫船时,气源还应满足相应洁净要求。
---打孔或打磨作业前应搭建洁净棚,并配备吸尘装置。
---高架地板宜在洁净室外进行切割。高架地板在洁净室内进行切割时,应搭建洁净棚,并配备吸
尘装置。
8 检测和监测
洁净室微振动检测和监测符合下列规定。
---洁净室的微振动检测宜包括场地环境、空态、静态、动态微振动检测。
---当因周......
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