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JB/T 5631-1991 相关标准英文版PDF

标准号码价格美元第2步(购买)交付天数标准名称
JB/T 5631-1991 199 JB/T 5631-1991 [PDF]天数 <=2 半导体器件外延炉 能耗标准
   
基本信息
标准编号 JB/T 5631-1991 (JB/T5631-1991)
中文名称 半导体器件外延炉 能耗标准
英文名称 Epitaxial furnace for semiconductor devices. Energy efficiency standard
行业 机械行业标准 (推荐)
中标分类 J01
字数估计 4,491
发布日期 9/13/1991
实施日期 7/1/1992
范围 本标准规定了半导体器件外延炉能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。

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