| 标准编号 | JJG 661-2004 (JJG661-2004) | | 中文名称 | 平面等倾干涉仪 | | 英文名称 | Verification Regulation of Flatness Interferometer with Isoclinic Circle Fringe | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 15,130 | | 发布日期 | 2004-09-21 | | 实施日期 | 2005-03-21 | | 旧标准 (被替代) | JJG 661-1990 | | 引用标准 | 2004 technical regulations issued by national metrology (industrial measurement 2005 Volume 15, Issue 1) | | 标准依据 | 2004 technical regulations issued by national metrology (industrial measurement 2005 Volume 15, Issue 1) | JJG 661-2004
Verification Regulation of Flatness Interferometer with Isoclinic Circle Fringe
中华人民共和国国家计量检定规程
平 面 等 倾 干 涉 仪
2004-09-21发布
2005-03-21实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
平面等倾干涉仪检定规程
代替JJG661-1990
本规程经国家质量监督检验检疫总局于2004年09月21日批准,并自
2005年03月21日施行。
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
起 草 单 位:中国测试技术研究院
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规程起草人:
冉 庆 (中国测试技术研究院)
陈永康 (中国测试技术研究院)
张成悌 (中国测试技术研究院)
曹 箭 (中国测试技术研究院)
目 录
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 概述 (1)
4 计量性能要求 (1)
4.1 测微目镜的示值误差极差及回程误差 (1)
4.2 工作台移动的直线度 (2)
4.3 工作台移动的示值误差及回程误差 (2)
4.4 钢球支架的工作性能 (2)
4.5 标准干涉环直径测量的标准偏差 (2)
4.6 干涉环小数干涉级测量的重复性 (2)
5 通用技术要求 (3)
5.1 外观 (3)
5.2 各部分相互作用 (3)
6 计量器具控制 (3)
6.1 检定条件 (3)
6.2 检定项目 (4)
6.3 检定方法 (4)
6.4 检定结果的处理 (6)
附录A 等倾干涉仪测量平面度测量结果的不确定度评定 (7)
附录B 检定证书和检定结果通知书内页格式 (10)
平面等倾干涉仪检定规程
1 范围
本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。
2 引用文献
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
JJF1094-2002 测量仪器特性评定
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3 概述
平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具,主要用于检定尺寸较大
的平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。
仪器工作原理如图1所示。
图1 工作原理图
1-平晶;2-球支承;3-平晶;4- (半)反射镜;5-测微鼓轮;6-观察者;7-目......
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