| 标准编号 | JJG 989-2004 (JJG989-2004) | | 中文名称 | 光栅式测微仪 | | 英文名称 | Verification Regulation of Grating Micrometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 23,263 | | 发布日期 | 2004-09-21 | | 实施日期 | 2004-12-21 | | 引用标准 | 2004 technical regulations issued by national metrology (industrial measurement 2005 Volume 15, Issue 1) | | 标准依据 | 2004 technical regulations issued by national metrology (industrial measurement 2005 Volume 15, Issue 1) | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | JJG 989-2004
Verification Regulation of Grating Micrometers
中华人民共和国国家计量检定规程
光栅式测微仪
2004-09-21发布
2004-12-21实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
光栅式测微仪检定规程
ofGrating
本规程经国家质量监督检验检疫总局于2004年09月21日批准,并自
2004年12月21日起施行。
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:中国科学院光电技术研究所
参加起草单位:中国测试技术研究院
本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规程主要起草人:
耿丽红 (中国科学院光电技术研究所)
匡 龙 (中国科学院光电技术研究所)
曹学东 (中国科学院光电技术研究所)
范天泉 (中国科学院光电技术研究所)
参加起草人:
李建民 (中国测试技术研究院)
目 录
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 概述 (1)
4 计量性能要求 (2)
4.1 测力 (2)
4.2 测杆受径向力引起的示值变化 (2)
4.3 重复性 (2)
4.4 示值误差 (2)
4.5 漂移 (2)
5 通用技术要求 (2)
5.1 外观 (2)
5.2 各部分相互作用 (3)
5.3 抗干扰性 (3)
6 计量器具控制 (3)
6.1 检定条件 (3)
6.2 检定项目 (4)
6.3 检定方法 (4)
6.4 检定结果的处理 (6)
6.5 检定周期 (6)
附录A 测微仪示值误差检定计算实例 (量块和测微仪检定器组合法) (7)
附录B 示值误差测量结果不确定度 (激光测长装置法) (8)
附录C 示值误差测量结果不确定度 (量块和测微仪检定器组合法) (12)
附录D 检定证书和检定结果通知书内页格式 (18)
光栅式测微仪检定规程
1 范围
本规程适用于分辨力为0.01μm~1μm,测量范围至100mm的光栅式测微仪的首次
检定、后续检定和使用中检验。
2 引用文献
本规程引用下列文献:
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
JJF1094-2002 测量仪器特性评定
JB/T 10080.2-2000 光栅线位移传感器
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3 概述
光栅式测微仪 (以下简称测微仪)是以光栅副作为测量元件,将线位移量转换为光
电信号,经电路处理并以数字显示的一种长度精密测量仪器。
测微仪按其准确度等级分为5级。测微仪按其结构分整体式和分体式两类。整体式
测微仪的传感器与显示单元在一整体上,其结构示意见图1 (a)。分体......
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