SJH 20711-1998 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ 20711-1998 | 439 | SJ 20711-1998 | [PDF]天数 <=3 | 分步投影曝光机通用规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ 20711-1998 (SJ20711-1998) |
| 中文名称 | 分步投影曝光机通用规范 |
| 英文名称 | General specification for step and repeat exposure systems |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 中标分类 | N46 |
| 字数估计 | 11,171 |
| 发布日期 | 3/18/1998 |
| 实施日期 | 5/1/1998 |
| 引用标准 | GB 191-90; GB 3768-83; GB 5080.7-86; GB 6388-86 |
| 范围 | 本标准规定了分步投影曝光机(以下简称曝光机)的分类、要求、质最保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。 |
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