SJH 21164-2016 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ 21164-2016 | 299 | SJ 21164-2016 | [PDF]天数 <=3 | MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ 21164-2016 (SJ21164-2016) |
| 中文名称 | MEMS惯性器件圆片减薄抛光工艺技术要求 |
| 英文名称 | (Technical requirements for MEMS inertial device wafer thinning and polishing process) |
| 行业 | 电子行业标准 |
| 字数估计 | 12,189 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
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