SJ/T 11183-2022 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ/T 11183-2022 | 239 | SJ/T 11183-2022 | [PDF]天数 <=3 | 旋转式涂覆设备通用规范 |
| SJ/T 11183-1998 | 359 | SJ/T 11183-1998 | [PDF]天数 <=3 | 匀胶设备通用规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11183-2022 (SJ/T11183-2022) |
| 中文名称 | 旋转式涂覆设备通用规范 |
| 英文名称 | (General specification for rotary coating equipment) |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L97 |
| 国际标准分类 | 31.020 |
| 字数估计 | 12,127 |
| 发布日期 | 2022-09-30 |
| 实施日期 | 2023-01-01 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
| 范围 | 本文件规定了旋转式涂覆设备的术语和定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本文件适用于泛半导体微纳加工光刻工艺制程中的旋转式涂覆设备。 |
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