SJ/T 11761-2020 相关标准英文版PDF
| 标准号码 | 价格美元 | 第2步(购买) | 交付天数 | 标准名称 |
| SJ/T 11761-2020 | 169 | SJ/T 11761-2020 | [PDF]天数 <=3 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 |
| 基本信息 | |
|---|---|
| 标准编号 | SJ/T 11761-2020 (SJ/T11761-2020) |
| 中文名称 | 200mm及以下晶圆用半导体设备装载端口规范 |
| 英文名称 | (Specification for loading ports of semiconductor equipment for wafers of 200mm and below) |
| 行业 | 电子行业标准 (推荐) |
| 中标分类 | L95 |
| 字数估计 | 7,767 |
| 发布日期 | 2020-12-09 |
| 实施日期 | 2021-04-01 |
| 标准依据 | 工业和信息化部公告2020年第48号 |
| 发布机构 | 工业和信息化部 |
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