| 标准编号 | YS/T 1129-2016 (YS/T1129-2016) | | 中文名称 | 钨钛合金靶材 | | 英文名称 | Tungsten titanium alloy sputtering target | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H72 | | 字数估计 | 10,123 | | 发布日期 | 2016-07-11 | | 实施日期 | 2017-01-01 | | 标准依据 | Notice of the Ministry of Industry and Information Technology (2016 No. 37) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单（或合同）等内容。 | YS/T 1129-2016
Tungsten titanium alloy sputtering target
ICS 77.160
H72
中华人民共和国有色金属行业标准
钨钛合金靶材
2016-07-11发布
2017-01-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)提出并归口。
本标准起草单位:西安瑞福莱钨钼有限公司、北京天龙钨钼科技股份有限公司、厦门虹鹭钨钼工业
有限公司。
本标准主要起草人:李长亮、任吉文、刘云飞、苏国平、白锋、韩蕊蕊。
钨钛合金靶材
1 范围
本标准规定了溅射用钨钛合金靶坯的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明
书及订货单(或合同)等内容。
本标准适用于钨钛合金溅射靶材加工用靶坯。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 3850 致密烧结金属材料与硬质合金 密度测定方法
GB/T 4324(所有部分) 钨化学分析方法
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 8651 金属板材超声板波探伤方法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
YS/T 901 高纯钨化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
3 要求
3.1 分类
3.1.1 产品按外形分圆形、矩形。
3.1.2 产品按化学成分分为 WTi-99.9、WTi-99.95、WTi-99.99、WTi-99.995、WTi-99.999。
3.2 化学成分
产品的化学成分应符合表1的规定,其中钨钛含量为100%减去表中非气体杂质实测含量总和。
表1 化学成分
元素
牌号
WTi-99.9 WTi-99.95 WTi-99.99 WTi-99.995 WTi-99.999
钨钛含量(质量分数)/%,不小于 99.9 99.95 99.99 99.995 99.999
合金元素含量
(质量分数)/%
W 余量
Ti 5~15
非......
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