| 标准编号 | YS/T 791-2012 (YS/T791-2012) | | 中文名称 | 铂靶 | | 英文名称 | Platinum target | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.120.99 | | 字数估计 | 6,693 | | 引用标准 | GB/T 1182; GB/T 1419-2004; GB/T 15077-2008 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2012年第55号;行业标准备案公告2013年第1号(总第157号); | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶), 其他用途的铂靶材也可参照使用。 | YS/T 791-2012
Platinum target
ICS 77.120.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
铂 靶
2012-11-07发布
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。
本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。
铂 靶
1 范围
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。
本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材(以下简称铂靶),其他用途的铂靶材也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 1182 产品几何技术规范(GPS) 几何公差 形状、方向、位置和跳动公差标注
GB/T 1419-2004 海绵铂
GB/T 15077-2008 贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法
3 要求
3.1 产品分类
铂靶按照纯度分为IC-Pt99.95、IC-Pt99.99两个牌号。外形主要为圆形和矩形。
3.2 化学成分
铂靶的化学成分应符合GB/T 1419-2004中的Pt99.95及Pt99.99的规定,未规定元素和挥发物
控制限及分析方法的,由供需双方协商确定。
3.3 外观质量
3.3.1 铂靶表面应平整,无划伤、裂纹、凸起等缺陷;无颗粒附加物和其他沾污;应清洁光滑,无指痕,无
油污和锈蚀。
3.3.2 铂靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6μm。
3.4 几何尺寸与允许偏差
3.4.1 圆形铂靶的直径ϕ主要有25mm~300mm,厚度通常为1mm~10mm。
3.4.2 矩形铂靶的尺寸主要有:长度20mm~300mm,宽度20mm~300mm,厚度通常为1mm~
10mm,倒角半径R通常为0.5mm~3mm。
3.4.3 圆形和矩形铂靶的尺寸及其......
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