| 标准编号 | YS/T 837-2012 (YS/T837-2012) | | 中文名称 | 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法 | | 英文名称 | Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H68 | | 国际标准分类 | 77.120.99 | | 字数估计 | 10,176 | | 引用标准 | GB 5226.1; GB/T 9445; GB/T 11259; GB/T 12604.1; GB/T 17421.1; GB/T 17421.2; GB/T 18400.6; GB/T 18694; GB/T 18852; GJB 1580A; GJB 9712A; JB/T 8771.4; JB/T 9269 | | 标准依据 | 工业和信息化部公告2012年第55号;行业标准备案公告2013年第1号(总第157号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺陷评定及检验报告等, 该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。本标准适用于中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材-背板结合面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。 | YS/T 837-2012
Standard practice for ultrasonic C-scan bond evaluation of sputtering target-backing plate assemblies
ICS 77.120.99
H68
中华人民共和国有色金属行业标准
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
2012-11-07发布
2013-03-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料股份有限公司、中国计量科学研究院、航天703所。
本标准主要起草人:刘红宾、尚再艳、何金江、王欣平、熊晓东、吕保国、江轩、朱晓光、王永辉、
何双起、杨平。
溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
1 范围
本标准规定了溅射用靶材-背板结合质量检验方法的一般要求、检验设备、对比试块、检验过程、缺
陷评定及检验报告等,该方法采用超声纵波脉冲反射液浸法C扫描检验技术。
本标准适用于用中间层材料结合方式(如软钎焊、硬钎焊和环氧树脂粘接等)的溅射靶材-背板结合
面的孔洞、未结合、氧化物夹杂等缺陷的检验。其他用途的材料结合质量无损检测也可参照使用。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 5226.1 机械电气安全 机械电气设备 第1部分:通用技术条件
GB/T 9445 无损检测 人员资格鉴定与认证
GB/T 11259 无损检测 超声检测用钢参考试块的制作与检验方法
GB/T 12604.1 无损检测 术语 超声检测
GB/T 17421.1 机床检验通则 第1部分:在无负荷或精加工条件下机床的几何精度
GB/T 17421.2 机床检验通则 第2部分:数控轴线的定位精度和重复定位精度的确定
GB/T 18400.6 加工中心 检验条件 第6部分:进给率、速度和插补精度检验
GB/T 18694 无损检测 超声检验 探头及其声场的表征
GB/T 18852 无损检测 超声检验 测量接触探头声束特性的参考试块和方法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
GJB9712A 无损检测人员资格鉴定与认证
JB/T 8771.4 加工中心检验条件 第4部分:线性和回转轴线的定位精度和重复定位精度检验
JB/T 9269 工业控制计算机系统安装环境条件
3 术语和定义
GB/T 12604.1界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
超声波 ultrasonicwave
频率超过人耳可听范围的声波,此频率的下限一般取为20kHz。
3.2
纵波 longitudinalwave
压缩波 compressionalwave
在介质中传播时,介......
|