| 标准编号 | YS/T 980-2014 (YS/T980-2014) | | 中文名称 | 高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法 | | 英文名称 | Derermination of impurities of purity gallium oxide. Inductively coupled plasma-mass spectrmetry | | 行业 | 有色冶金行业标准 (推荐) | | 中标分类 | H17 | | 国际标准分类 | 77.040.30 | | 字数估计 | 10,193 | | 发布日期 | 10/14/2014 | | 实施日期 | 4/1/2015 | | 标准依据 | 中华人民共和国工业和信息化部公告2014年第63号;行业标准备案公告2014年第12号(总第180号) | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为(1×10-6)%～(4×10-5)%。 | YS/T 980-2014
Derermination of impurities of purity gallium oxide.Inductively coupled plasma-mass spectrmetry
ICS 77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
高纯三氧化二镓杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
2014-10-14发布
2015-04-01实施
中华人民共和国工业和信息化部 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限
公司。
本标准主要起草人:刘爱华、孙平、种娜、郑孝桃、杨海燕、朱赞芳、陈劼、刘心君。
高纯三氧化二镓杂质含量的测定
电感耦合等离子体质谱法
1 范围
本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。
本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。
各元素测定范围为(1×10-6)%~(4×10-5)%。
2 方法提要
试料经混酸溶解,制备成待测溶液后用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)进行测定,获得待测元
素质量数信号。以杂质元素质量数的信号强度为纵坐标,杂质元素浓度为横坐标绘制标准加入法工作
曲线,进而计算所测样品中待测元素的质量分数。推荐采用附录A所列测量元素的同位素质量数。
3 试剂和材料
除非另有说明,在分析中所使用的水均为去离子水,电阻率≥18.0MΩ/cm。
3.1 硝酸,总杂质含量≤1ng/mL,质量分数为70%。
3.2 盐酸,总杂质含量≤10ng/mL,质量分数为65%。
3.3 标准贮存溶液
3.3.1 混合标准贮存溶液:由含待测元素组成的混合标准溶液(规格:GSB04-1767-2004),浓度
为1000μg/mL。
3.3.2 钛标准溶液(1000μg/mL)由国家标准物质研究中心提供(规格:GF5310),介质为2%硝酸
溶液。
3.3.3 钒标准溶液(1000μg/mL)由国家标准物质研究中心提供(规格:GF5311),介质为2%硝酸
溶液。
3.3.4 锡标准溶液(1000μg/mL)由国家标准物质研究中心提供(规格:GSB04-1753-2004),介质为
3%盐酸溶液。
3.4 混合标准溶液的配置:分别移取0.01mL的混合标准贮存溶液(3.3.1)、钛标准溶液(3.3.2)、钒标
准溶液(3.3.3)、锡标准溶液(3.3.4)于100mL的容量瓶,稀释至刻度,此时混合标准溶液各待测杂质元
素的浓度为0.1μg/mL。
3.5 氩气:纯度 >99.999%。......
|