GB/T 16880-1997 相关标准英文版PDF

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标准号码	内文	价格美元	第2步(购买)	交付天数	标准名称	详情	状态
GB/T 16880-1997	英文版	159	GB/T 16880-1997	[PDF]天数 <=2	光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则	GB/T 16880-1997

基本信息
标准编号	GB/T 16880-1997 (GB/T16880-1997)
中文名称	光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则
英文名称	Guidelines for photomask defect classification and size definition
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	L97
国际标准分类	31.02
字数估计	4,450
发布日期	6/20/1997
实施日期	3/1/1998
采用标准	SEMI P22-1993, IDT
发布机构	国家技术监督局

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