搜索结果: GB/T 25915.12-2021, GB/T25915.12-2021, GBT 25915.12-2021, GBT25915.12-2021
| 标准编号 | GB/T 25915.12-2021 (GB/T25915.12-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Cleanrooms and associated controlled environments - Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | C70 | | 字数估计 | 14,179 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 25915.12-2021
Cleanrooms and associated controlled environments -- Part 12: Specifications for monitoring of air cleanliness by nanoscale particle concentration
ICS 13.040.35
CCSC70
中华人民共和国国家标准
洁净室及相关受控环境 第12部分:
监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
(ISO 14644-12:2018,IDT)
2021-10-11发布
2022-05-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 监测 3
5 检测报告 3
附录A(资料性) 以凝结粒子计数器进行监测的参照方法 5
附录B(资料性) 粒子计数效率和分割粒径 8
参考文献 10
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
本文件是GB/T 25915《洁净室及相关受控环境》的第12部分。GB/T 25915已经发布了以下
部分:
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级;
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测;
---第3部分:检测方法;
---第4部分:设计、建造、启动;
---第5部分:运行;
---第6部分:词汇;
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级;
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级;
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级;
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。
本文件等同采用ISO 14644-12:2018《洁净室及相关受控环境 第12部分:监测空气中纳米粒子浓
度的技术要求》。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)提出并归口。
本文件起草单位:中天道成(苏州)洁净技术有限公司、中国电子工程设计院有限公司、苏州苏信环
境科技有限公司、苏州市计量测试院、江苏苏净工程建设有限公司、江苏嘉合洁净科技有限公司、中国标
准化协会、国家纳米科学中心、中国合格评定国家认可中心、南京天加环境科技有限公司、美埃(中国)环
境科技股份有限公司、中电投工程研究检测评定中心有限公司、吴江市华宇净化设备有限公司、常州祥
明智能动力股份有限公司、北京恒泰建业工程项目管理有限公司、贺氏(苏州)特殊材料有限公司。
本文件主要起草人:王尧、姜伟康、蔡杰、孙玉澄、王其祥、王大千、姜皓遐、朱兰、翟传明、蒋乃军、
邴绍同、石小雷、高正、吴小泉、叶伟强、张敏、董玉平、郝胤博、惠旅峰、肖轶群。
引 言
GB/T 25915是采用ISO 14644系列国际标准,各部分设置与国际标准保持一致,拟由15个部分
构成。
---第1部分:按粒子浓度划分空气洁净度等级。目的是区分粒子污染程度。
---第2部分:洁净室空气粒子浓度的监测。目的是指导监测粒子污染,以避免可能产生的污染
风险。
---第3部分:检测方法。目的是指导对洁净室内各种污染和相关环境要素的检测。
---第4部分:设计、建造、启动。目的是指导洁净室的设计、建造、启动。
---第5部分:运行。目的是指导洁净室的运行。
---第6部分:词汇。目的是统一规范技术术语。
---第7部分:隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境)。目的是提出洁净室用隔离装置的基
本要求。
---第8部分:按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级。目的是区分空气化学污染程度。
---第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面粒子污染程度。
---第10部分:按化学物浓度划分表面洁净度等级。目的是区分表面化学污染程度。
---第12部分:监测空气中纳米粒子浓度的技术要求。目的是提出纳米级别的粒子污染的检测
要求。
---第13部分:达到粒子和化合洁净度要求的表面清洁。目的是提出洁净室内表面的清洁要求以
避免可能产生的粒子和化学污染的风险。
---第14部分:按粒子污染浓度评估设备适用性。目的是通过对相关设备可能在洁净室产生粒子
污染的测试,确定设备的适合性。
---第15部分:按化学污染物浓度评定设备及材料的适合性。目的是通过对相关设备可能在洁净
室产生化学污染的测试,确定设备的适合性。
---第16部分:提高洁净室和空气净化装置能效。目的是节约洁净室运行的能源消耗。
洁净室及相关受控环境将污染物控制在适当的水平,以便完成对污染敏感的活动。航空航天、微电
子、制药、医疗器械、食品、医疗卫生等行业的产品和工艺受益于对悬浮污染物的控制。
GB/T 25915.3-2010仅限于粒径大于100nm的粒子分级。但在这个文件中包含小于100纳米粒
子的资料性内容,且将小于100nm的粒子称为超微粒子,而不是本文件所称的纳米粒子。
纳米技术是最近才形成的领域,一般涉及大约1nm~100nm尺寸范围的物质。为改善产品的性
能,其特征尺寸越来越小成为其趋势,如微电子及与健康有关的许多工业,现已生产纳米尺度的产品。
有关粒径特性的背景性文献见参考文献[1]~[18]。
洁净室及相关受控环境 第12部分:
监测空气中纳米粒子浓度的技术要求
1 范围
本文件给出了监测粒径限值不超过0.1μm(100nm)的“纳米尺度”粒子浓度的技术要求。
本文件给出的监测技术要求主要用于“动态”。
注1:本文件提及的“纳米尺度粒子”是指所有在1维上(纳米片)、2维上(纳米纤维)或3维上(纳米粒子)具有纳米
尺度的纳米物质。
注2:请注意,洁净室内粒子的实际特性是由粒子的来源及其物理特性所决定的。
注3:本文件未考虑健康与安全事项。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
ISO 和IEC 在以下网址维护用于标准化的术语数据库:
---ISO 在线浏览平台:可从https://www.iso.org/obp获取。
3.1 通用
3.1.1
洁净室 cleanroom
空气悬浮粒子浓度受控并分级的房间,其设计、建造到运行均使进入、产生、滞留于房间的粒子
受控。
注1:规定了按空气悬浮粒子浓度划分的级别。
注2:也可对影响洁净度等级的其他因素,如空气中化学物、微生物或纳米尺度粒子浓度等,以及影响表面洁净度
等级的其他因素,如粒子、纳米粒子、化学物或微生物浓度等,作出规定并进行控制。
注3:温度、湿度、压力、振动和静电等相关的物理参数,也可按要求受控。
[来源:GB/T 25915.1-2021......
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