搜索结果: GB/T 27760-2011, GB/T27760-2011, GBT 27760-2011, GBT27760-2011
| 标准编号 | GB/T 27760-2011 (GB/T27760-2011) | | 中文名称 | 利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法 | | 英文名称 | Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at sub-nanometer displacement levels using si (111) monatomic steps | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | N04 | | 国际标准分类 | 19.020 | | 字数估计 | 14,177 | | 发布日期 | 2011-12-30 | | 实施日期 | 2012-05-01 | | 引用标准 | ISO 25178-6-2010; ISO/IEC GUIED 98-3-2008; ISO/TS 21748-2004 | | 采用标准 | ASTM E2530-2006, MOD | | 标准依据 | 国家标准批准发布公告2011年第22号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜, 并且其z向放大倍率达到最大量级, 即z向位移在纳米和亚纳米范围内, 这是原子力显微镜用于检测半导体表面, 光学器件表面和其他高科技元件表面中经常用到的检测范围。本标准并未指出所有可能的安全问题, 在应用本标准之前, 使用者有责任采取适当的安全和健康措施, 并保证符合国家有关法规规定的条件。 | GB/T 27760-2011
Test method for calibrating the z-magnification of an atomic force microscope at subnanometer displacement levels using si (111) monatomic steps
ICS 19.020
N04
中华人民共和国国家标准
利用Si(111)晶面原子台阶对原子力
显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
2011-12-30发布
2012-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准与ASTME2530-2006《利用Si(111)晶面原子台阶对原子力显微镜亚纳米高度测量进行
校准的方法》(英文版)技术内容基本一致。
考虑到我国国情,在采用ASTME2530-2006时,本标准做了一些修改,有关技术性差异已编入
正文中。附录A(规范性附录)中给出样品制备方法,附录B(资料性附录)中列出了本标准章条编号与
ASTME2530-2006章条编号的对照一览表,附录C(资料性附录)中给出了技术性差异及其原因一览
表以供参考。
本标准由中国科学院提出。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:国家纳米科学中心。
本标准主要起草人:朱晓阳、杨延莲、贺蒙、高洁。
利用Si(111)晶面原子台阶对原子力
显微镜亚纳米高度测量进行校准的方法
1 范围
本标准规定了利用Si(111)晶面原子台阶高度样品校准原子力显微镜z向标度的测量方法。
本标准适用于在大气或真空环境下工作的原子力显微镜,并且其z向放大倍率达到最大量级,即z
向位移在纳米和亚纳米范围内,这是原子力显微镜用于检测半导体表面,光学器件表面和其他高科技元
件表面中经常用到的检测范围。
本标准并未指出所有可能的安全问题,在应用本标准之前,使用者有责任采取适当的安全和健康措
施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
注:本标准中以国际单位制规定的数值作为标准值,括号内插入的数值仅供参考。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
ISO 25178-6:2010 产品几何量技术规范(GPS)表面结构 区域法 第6部分:表面结构测量方
ISO/T S21748:2004 测量不确定度评估的重复性、再现性和准确度评估的使用指南(Guidance
tion)
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
通过检测探针与样品表面相互作用力(吸引力或排斥力)来获得表面高度进而得到样品表面形貌的
检测技术。
3.2
坐标轴 coordinateaxes
检测表面形貌时使用的坐标系。
注......
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