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| 标准编号 | GB/T 29190-2012 (GB/T29190-2012) | | 中文名称 | 扫描探针显微镜漂移速率测量方法 | | 英文名称 | Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | A60 | | 国际标准分类 | 17.180.99 | | 字数估计 | 20,235 | | 引用标准 | GB/T 15000.3; JJF 1001; JJF 1059; ISO 18115 | | 标准依据 | 国家标准公告2012年第41号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格, 及基于SPM扫描图像的漂移速率测量基本方法。本标准适用于0.01nm/s到10 nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。 | GB/T 29190-2012
Measurement methods of drift rate of scanning probe microscope
ICS 17.180.99
A60
中华人民共和国国家标准
扫描探针显微镜漂移速率测量方法
2012-12-31发布
2013-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅰ
引言 Ⅱ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义、缩略语 1
4 测量方法 2
5 要求 2
5.1 仪器要求 2
5.2 环境要求 2
6 测量步骤 2
7 测量报告 3
附录A(规范性附录) 图像相关分析法 4
附录B(规范性附录) 特征点法 7
附录C(规范性附录) 非周期光栅法 9
附录D(资料性附录) 原子光栅法 12
附录E(资料性附录) 测量方法比较 14
参考文献 15
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由中国科学院提出并归口。
本标准由全国纳米技术标准化技术委员会(SAC/TC279)归口。
本标准起草单位:中国科学技术大学、上海市计量测试技术研究院。
本标准主要起草人:黄文浩、陈宇航、李源、傅云霞、褚家如、李家文、牛顿、朱五林、刘一。
引 言
一。对于具有纳米级以至原子级分辨力的SPM,其时间稳定性与仪器的设计、操作环境和使用等密切
相关。作为SPM的重要规格参数,漂移速率的大小直接关系着SPM 的使用性能。例如,无失真图像
的连续获取、样品局域物化特性的测量、样品表面动态特性的实时观测、微纳装配和操纵等。此外,漂移
速率的大小对于评价仪器也有重要指导意义。目前,许多SPM配置漂移补偿模块或闭环控制模块;尽
管漂移速率大幅降低,但漂移依然存在。因此,SPM在x、y和z方向漂移速率的定义和漂移速率测量
方法的规范化具有重要意义。
本标准给出了SPM在x、y和z方向漂移速率的测量方法,以便于制造商在仪器规格中提供漂移
数据,帮助用户表征仪器漂移特性。
扫描探针显微镜漂移速率测量方法
1 范围
本标准规定了SPM漂移速率的术语和定义、缩略语、测量步骤、性能参数规格,及基于SPM 扫描
图像的漂移速率测量基本方法。
本标准适用于0.01nm/s到10nm/s的漂移速率测量。本标准中的漂移测量不适用于图像校正。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 15000.3 标准样品工作导则(3) 标准样品 定值的一般原则和统计方法;
JJF1001 通用计量术语及定义;
JJF1059 测量不确定度评定与表示(ISO GUM:1995,IDT);
ISO 18115 表面化学分析 名词,第2部分:扫描探针显微镜适用术语(Surfacechemical
3 术语和定义、缩略语
GB/T 20000.1界定的以及下列术语和定义、缩略语适用于本文件。
3.1 术语和定义
3.1.1
漂移 drift
SPM仪器中探针相对于样品的实际位置与设定位置的偏差。
注:所有参数设置均可能产生漂移,如x、y、z方向的位移,激光光斑在悬臂梁上的位置,扫描近场光学显微镜的光
源强度等。本标准中,漂移限定为x、y和z方向上,探针相对于样品设定位置的改变。
3.1.2
漂移速率 driftrate
一定时间间隔内的漂移与该时间间隔之比。
注1:时间间隔通常选定为连续扫描得到的相邻图像间的时间。
注2:漂移速率可给定为x、y和z方向的漂移速率,或相应矢量的合成幅值。
3.1.3
设定时间 ......
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