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| 标准编号 | GB/T 29658-2013 (GB/T29658-2013) | | 中文名称 | 电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材 | | 英文名称 | High-purity Sputtering Aluminium and Aluminium Alloy Target Used in Electronic Film | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H61 | | 国际标准分类 | 77.120.10 | | 字数估计 | 10,175 | | 引用标准 | GB/T 1804; GB/T 6394; GB/T 14265; GB/T 15823; GB/T 20975.25; GJB 1580A; JB/T 4734; YS/T 837; YS/T 871 | | 标准依据 | 国家标准公告2013年第17号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。 | GB/T 29658-2013
High-Purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film
ICS 77.120.10
H61
中华人民共和国国家标准
电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
2013-09-06发布
2014-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司。
本标准主要起草人:万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖、何金江、熊晓东、王兴权、
王学泽、钱红兵、喻洁、刘杰、洪涛、努力古、宋玉萍。
电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材
1 范围
本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运
输、存贮、订货单(或合同)等内容。
本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本标
准。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本标准。
GB/T 1804 一般公差 未注公差的线性和角度尺寸的公差
GB/T 6394 金属平均晶粒度测定方法
GB/T 14265 金属材料中氢、氧、氮、碳和硫分析方法通则
GB/T 15823 无损检测氦泄漏检测方法
GB/T 20975.25 铝及铝合金化学分析方法 第25部分:电感耦合等离子体原子发射光谱法
GJB1580A 变形金属超声检验方法
JB/T 4734 铝制焊接容器
YS/T 837 溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法
YS/T 871 高纯铝化学分析方法 痕量杂质元素的测定 辉光放电质谱法
3 要求
3.1 产品分类
3.1.1 按照应用领域分为:半导体布线用高纯溅射靶材、半导体封装用高纯溅射靶材、平板显示器用高
纯溅射靶材和太阳能电池用高纯溅射靶材。
3.1.2 按照结构形式分为单体和焊接两种。
3.1.3 按外形分为圆形、矩形和三角形等。
3.2 合金成分与纯度
3.2.1 根据合金材料不同,可分为纯铝靶、铝硅合金靶、铝铜合金靶、铝硅铜合金靶四种靶材。
3.2.2 高纯铝合金靶中合金元素含量应不超过规定成分的±10%。
3.2.3 铝靶合金成分及杂质元素要求应符合表1规定。
表1 铝靶合金成分和对应的杂质元素
成分 Al AlSi AlCu AlSiCu
Al或Al合金含量不小于
简称 4N 5N 5N5 4N5 5N 5N5 5N 5N5 5N 5N5
表1(续)
成分 Al AlSi AlCu AlSiCu
金属杂质
含量不大
于10-6
Ag - 1 0.3 - 1 0.3 1 0.3 1 0.3
As - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Au - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
B - 0.5 0.5 - 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Ba - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Bi - 1 1 - 1 1 1 1 1 1
Be - 0.5 0.5 - 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
Ca - 1 0.2 - 1 0.2 1 0.2 1 0.2
Cd - - 1.0 - - 1.0 - 1.0 - 1.0
Ce - 1 1 - 1 1 1 1 1 1
Cl - 4 4 4 4 4 4 4 4 4
Co - - 0.1 - - 0.1 - 0.1 - 0.1
Cr 5 2 0.4 2 2 0.4 2 0.4 2 0.4
Cs - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Cu 50 3 1 5 3 1 - - - -
Fe 50 3 1 5 3 1 3 1 3 1
K - 0.5 0.1 - 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1
La - - 0.5 - - 0.5 - 0.5 - 0.5
Li - 0.5 0.1 - 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1
Mg 30 2 1 3 2 1 2 1 2 1
Mn 10 1 0.5 1 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Mo - 1 0.2 - 1 0.2 1 0.2 1 0.2
Na - 0.5 0.1 - 0.5 0.1 0.5 0.1 0.5 0.1
Ni 20 1 1 - 1 1 1 1 1 1
P - 1 1 1 1 1 1 1 1 1
Pb - 1 0.3 - 1 0.3 1 0.3 1 0.3
Sb - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Si 30 5 2 - - - 5 2 - -
Sn - 1 0.2 - 1 0.2 1 0.2 1 0.2
Ti 3 2 1 2 2 1 2 1 2 1
V - 1 0.4 - 1 0.4 1 0.4 1 0.4
Zn 5 1 0.5 1 1 0.5 1 0.5 1 0.5
Zr - 1 0.5 - 1 0.5 1 0.5 1 0.5
U - 0.02 0.001 - 0.02 0.001 0.02 0.001 0.02 0.001
Th - 0.02 0.001 - 0.02 0.001 0.02 0.001 0.02 0.001
表1(续)
成分 Al AlSi AlCu AlSiCu
杂质总含量不大于10-6 100 10 5 50 10 5 10 5 10 5
气体元素
含量不大
于10-6
C - 30 20 30 30 20 30 20 30 20
H - 1 0.5 1 1 0.5 1 0.5 1 0.5
N 10 10 5 10 10 5 10 5 10 5
O 30 30 20 30 30 20 30 20 30 20
S - 10 1 10 10 1 10 1 10 1
注1:需方对元素有特殊要求的,由供需双方协商,并在订货单(或合同)中注明。
注2:铝靶的纯度为100%减去要求杂质总和的余量(不含C、O、N、H、S)。
3.3 晶粒尺寸
铝靶的晶粒尺寸应符合表2规定,并且晶粒分布均匀。
表2 铝靶晶粒尺寸要求
合金成分
纯度
简称
晶粒尺寸要求
平均值
μm
最大值
μm
Al
99.99 4N ≤500 ≤1000
99.999 5N
99.9995 5N5
≤300 ≤500
AlSi
99.995 4N5
99.999 5N
99.9995 5N5
AlCu
99.999 5N
99.9995 5N5
AlSiCu
99.999 5N
99.9995 5N5
≤150 ≤200
注:需方如有特殊要求时,由供需双方商定,并在订货单(或合同)中注明。
3.4 内部质量
铝靶内部不应有分层、疏松、夹杂和气孔等缺陷,由供方生产工艺保证。需方有特殊要求时按
GJB1580A执行。
3.5 焊接质量
铝靶的常规焊接方法为钎焊、扩散焊和电子束焊。钎焊、扩散焊质量应符合表3的规定,电子束焊
质量应符合表4的规定。需方如有特殊要求时,应由供需双方协商确定,并在订货单(或合同)中具体
注明。
表3 焊接质量要求
焊接方式 焊接结合率 单个未焊合间隙面积占总面积比例
钎焊 ≥95% ≤2.5%
扩散焊 ≥98% ≤1%
表4 电子束焊接质量要求
检验方式 指标
氦检 漏率≤10-9Pa·m3/s
水检 0.4MPa水压下保持10min以上无泄漏
3.6 几何尺寸及允许偏差
铝靶尺寸及结构方式一般根据需方提供图纸确定,经供需双方协商确定并在订货单(或合同)中注
明后。如果需方图纸未提供允许偏差,则铝靶尺寸允许偏差应符合GB/T 1804要求。
3.7 外观质量
铝靶表面应清洁光滑,无指痕、油污和锈蚀,无颗粒附加物和其他沾污,无凹坑、划伤、裂纹、凸起等
缺陷。
4 试验方法
4.1 化学成分分析方法
4.1.1 合金元素按照GB/T 20975.25规定的方法进行检测。
4.1.2 金属杂质元素、P的分析方法按照YS/T 871规定的方法进行检验。
4.1.3 气体元素H、O、N、C和S的分析方法按照GB/T 14265执行。
4.2 晶粒尺寸检验
铝靶的晶粒尺寸检验按照GB/T 6394执行。
4.3 内部质量检验
铝靶的内部质量的检验按GJB1580A执行。
4.4 焊合质量
4.4.1 钎焊、扩散焊按YS/T 837的规定检验。
4.4.2 电子束焊质量氦泄漏检测方法按GB/T 15823执行,水压检测按JB/T 4734中的方法执行。
4.5 尺寸检测方法
产品外形尺寸及其允许偏差应用相应精度的测量工具进行测量。
4.6 外观质量检验方法
铝靶外观质量采用目视检查,如发现异常现象,用放大镜或数码显微镜进行鉴别。
5 检验规则
5.1 检查和验收
5.1.1 铝靶应由供方进行检测,保证产品质量符合本规范或订货单(合同)的规定,并填写质量证明书。
5.1.2 需方应对收到的铝靶按本标准的规定进行复验。如复验结果与本标准(或订货合同)的规定不
符时,应在收到产品之日起3个月内向供方提出,由供需双方协商解决。如需仲裁,仲裁取样应由供需
双方共同进行。
5.2 组批
产品应成批提交验收。每批应由同一生产批、同种成分和规格的产品组成。
5.3 检验项目、取样位置和取样数量
5.3.1 铝靶出厂前应进行全面检测。检验项目、取样位置、取样数量应符合表5规定。
表5 铝靶检测项目、取样及数量
检验项目 取样数量 取样数量 要求的章条号 检验的章条号
化学成分 铸锭端部 1个/炉
3.2.2 4.1.1
3.2.3 4.1.2,4.1.3
晶粒尺寸 5.3.2 1件/批 3.3 4.2
内部质量 焊接前 逐件 3.4 4.3
焊接质量 焊接后 逐件 3.5 4.4.1,4.4.2
几何尺寸 成品 逐件 3.6 4.5
外观质量 成品 逐件 3.7 4.6
包装质量 成品 逐件 6.2 4.7
5.3.2 晶粒尺寸测定取样
圆形靶坯、矩形靶坯和三角靶坯在边缘位置进行取样,取样示意图如图1所示。
a) 圆形靶坯 b) 矩形靶坯 c) 三角形靶坯
图1 铝靶坯取样示意图
5.4 检验结果的判定
5.4.1 化学成分检测不合格时,则判该锭生产的靶材不合格。
5.4.2 晶粒尺寸抽检合格,判该批合格;抽检不合格时,判该件不合格;再从同批产品中加倍抽样进行
复检,若复检全部合格,判该批其余产品合格;若复检不合格,则判该批不合格。
5.4.3 内部质量检测、焊接质量检测、尺寸检测、外观质量检任何一项不合格时,判该件产品不合格。
6 标志、包装、运输、贮存及质量证明书
6.1 标志
6.1.1 在检验合格的铝靶上,将公司标志、成分及生产批号刻在产品指定位置。
6.1.2 在每个外包装上贴纸质标贴,内容包括:
a) 供方厂名厂址;
b) 公司标志;
c) 产品名称;
d) 纯度;
e) 客户名称;
f) 订单编号;
g) 物料编号;
h) 生产批号;
i) 出厂日期;
j) 其他要求内容。
6.2 包装
6.2.1 铝靶的清洗、干燥及内包装应在洁净间内进行。靶材经过全面清洗,真空干燥后每片单独真空
包装,真空袋封口要平整无贯通,真空袋体无漏洞,无真空泄露。
6.2.2 外包装采用纸盒或中空盒......
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