搜索结果: GB/T 32650-2016, GB/T32650-2016, GBT 32650-2016, GBT32650-2016
| 标准编号 | GB/T 32650-2016 (GB/T32650-2016) | | 中文名称 | 电感耦合等离子质谱法检测石英砂中痕量元素 | | 英文名称 | Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31.030 | | 字数估计 | 8,891 | | 发布日期 | 2016-04-25 | | 实施日期 | 2016-11-01 | | 引用标准 | GB/T 6682; GB/T 25915.1 | | 标准依据 | 国家标准公告2016年第7号 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素的测定方法。本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定。其他元素含量的测定可参照本标准执行。 | GB/T 32650-2016
Determining the content of trace elements in arenaceous quartz by inductively coupled plasma mass spectrometry(ICP-MS)
ICS 31.030
L90
中华人民共和国国家标准
电感耦合等离子质谱法检测石英砂中
痕量元素
2016-04-25发布
2016-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:国家硅材料深加工产品质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、东海县
产品质量监督检验所、江苏太平洋石英股份有限公司。
本标准主要起草人:李运强、薄雷明、冯亚彬、管琪、许振午、武为民、周文梅。
电感耦合等离子质谱法检测石英砂中
痕量元素
警告---使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问
题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施,并保证符合国家有关法规规定的条件。
1 范围
本标准规定了石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素的测定方法。
本标准适用于石英砂中铝、钙、铁、钠、钾、锂、镁、铬、镍、硼、锰、铜、钛痕量元素含量的测定。其他元
素含量的测定可参照本标准执行。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 6682 分析实验室用水规格和试验方法
GB/T 25915.1 洁净室及相关受控环境 第1部分:空气洁净度等级
3 方法原理
试样用氢氟酸消解,在硝酸介质中进行电感耦合等离子质谱仪测定。电感耦合等离子质谱仪由离
子源和质谱仪两个部分构成。试样溶液经过雾化由载气送入离子源炬焰中,经过蒸发、解离、原子化、电
离等过程,转化为带正电荷的离子,经过采集系统进入质谱仪,质谱仪根据质荷比进行分离。对于一定
的质荷比,质谱积分面积与进入质谱仪中的离子数成正比。试样的浓度与质谱积分面积成正比,通过与
标准系列比较定量。
4 干扰因素
4.1 在试验过程中通常存在双原子离子、多原离子、基体效应、背景噪音、元素间的干扰、交叉污染和仪
器漂移等因素的影响。
4.2 取样、制样及分析过程中试剂的纯度、设备的洁净度和操作过程中引入的污染也会影响测试结果。
5 试剂和材料
5.1 超纯水:符合GB/T 6682中实验室用水一级规格,同时电阻率大于18MΩ·cm。
5.2 氢氟酸:质量分数为40%,MOS级高纯试剂。
5.3 硝酸:质量分数为65%,MOS级高纯试剂。
5.4......
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