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| 标准编号 | GB/T 34002-2017 (GB/T34002-2017) | | 中文名称 | 微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质校准图像放大倍率的方法 | | 英文名称 | Microbeam analysis -- Analytical transmission electron microscopy -- Methods for calibrating image magnification by using reference materials having periodic structures | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G04 | | 国际标准分类 | 71.040.40 | | 字数估计 | 38,321 | | 发布日期 | 2017-07-12 | | 实施日期 | 2018-06-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34002-2017
Microbeam analysis--Analytical transmission electron microscopy--Methods for calibrating image magnification by using reference materials having periodic structures
ICS 71.040.40
G04
中华人民共和国国家标准
微束分析 透射电子显微术 用周期结
构标准物质校准图像放大倍率的方法
(ISO 29301.2010,IDT)
2017-07-12发布
2018-06-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
目次
前言 Ⅲ
引言 Ⅳ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语、定义和缩写 1
4 图像放大倍率 5
4.1 图像放大倍率的定义 5
4.2 放大倍率的表示 5
5 标准物质 6
5.1 总则 6
5.2 对CRM/RM的要求 6
5.3 储存与装卸 6
6 校准步骤 6
6.1 总则 6
6.2 安装CRM/RM 6
6.3 设置校准的TEM操作条件 7
6.4 数字化图像的获得 8
6.5 照相底片图像的数字化 8
6.6 数字图像上角度修正距离Dt的测量 9
6.7 校准像素尺寸的参考标尺的数字化 12
6.8 图像放大倍率的校准 13
6.9 标尺的校准 14
6.10 仅用光学底片测量长度的校准法 14
7 图像放大倍率的精度 15
8 测量结果的不确定度 15
9 校准报告 16
9.1 概述 16
9.2 校准报告的内容 16
附录A(资料性附录) 影响TEM放大倍率的因素 18
附录B(规范性附录) 图像放大倍率校准步骤流程图 19
附录C(规范性附录) 平均化线条数目的确定 20
C.1 确定线条数目以得到平滑轮廓线的方法 20
C.2 实验结果举例 20
附录D(资料性附录) 校准放大倍率用的标准物质 22
D.1 校准放大倍率标尺的标准物质(RM) 22
D.2 校准像素尺寸的标准物质(RM) 22
D.3 一些纯元素的晶面间距 23
D.4 具有周期性结构的图像示例 23
附录E(资料性附录) TEM放大倍率校准测试报告样本 24
参考文献 32
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO 29301.2010《微束分析 透射电子显微术 用周期结构标准物质
校准图像放大倍率的方法》。
与本标准中规范性引用的国际文件有一致性对应关系的我国文件如下.
---GB/T 27025-2008 检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC 17025.2005,IDT)
本标准对原文中的下列错误进行了修正.
---图1中11数码相机放大倍率Ms< Mg修改为Ms< Mf;
---6.6.2b)中“SRM/RM”修改为“CRM/RM”;
---6.9.3第5行将1nm修改为1μm,将Nu(nm)和Lu(nm)分别修改为Nu(μm)和Lu(μm);
---将第7章引用的ISO 5725-1.1994补充到规范性引用文件中;
---表D.1中的银(Si)修改为硅(Si),Si是硅(Silicon)的化学符号,点阵常数为0.543nm,银的化
学符号是Ag,点阵常数为0.409nm。
本标准由全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准起草单位.北京科技大学。
本标准主要起草人.柳得橹、郜欣、权茂华。
引 言
透射电子显微镜广泛地应用于一系列重要材料微/纳米结构的研究,例如半导体、金属、纳米粒子、
聚合物、陶瓷、玻璃、食品以及生物材料。本标准适用于图像放大倍率的校准,规范了应用具有周期结构
的有证参考物质或参考物质校准透射电镜图像放大倍率的要求。
微束分析 透射电子显微术 用周期结
构标准物质校准图像放大倍率的方法
1 范围
本标准规定了透射电镜(TEM)在很大放大倍率范围内所记录的图像的校准方法。用于校准的标
准物质具有周期性结构,例如衍射光栅复型、半导体的超点阵结构或X射线分析的分光晶体以及碳、金
或硅的晶体晶格像。
本标准适用于记录在照相胶片上或成像板上或数字相机内置传感器采集的 TEM 图像的放大倍
率。本标准也可用于校准标尺,但不适用于专用的临界尺寸测长透射电镜(CD-TEM)和扫描透射电镜
(STEM)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 27025-2008 检测和校准实验室能力的通用要求(ISO/IEC 17025.2005,IDT)
ISO Guide30.1992 ISO 指南30.1992 与参考物质相关的术语和定义(Termsanddefinitions
ISO Guide35.2006 ISO 指南35.2006 参考物质 认证的一般原则和统计原理(Referencema-
ISO/IEC Guide98-3.2008 ISO/IEC 指......
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