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| 标准编号 | GB/T 34091-2017 (GB/T34091-2017) | | 中文名称 | 电子工业用气体 六氟乙烷 | | 英文名称 | Gas for electronic industry -- Hexafluoroethane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,137 | | 发布日期 | 2017-07-31 | | 实施日期 | 2017-11-01 | | 发布机构 | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 34091-2017
Gas for electronic industry--Hexafluoroethane
ICS 71.100.20
G86
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体 六氟乙烷
2017-07-31发布
2017-11-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
中国国家标准化管理委员会发布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位.浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有
限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电
子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司、
中昊光明化工研究设计院有限公司。
本标准主要起草人.史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、
邓建平、李健、周鹏云。
电子工业用气体 六氟乙烷
1 范围
本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻
工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。
分子式.C2F6。
相对分子质量.138.0124(按2013年国际相对原子质量)。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 5099 钢质无缝气瓶
GB/T 5832.1 气体分析 微量水分的测定 第1部分.电解法
GB/T 7144 气瓶颜色标志
GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB/T 16804 气瓶警示标签
GB/T 26571 特种气体储存期规范
GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法
TSGR0006 气瓶安全技术监察规程
危险化学品安全管理条例(2002年版)
特种设备安全监察条例(2009年版)
3 技术要求
六氟乙烷的质量应符合表1的要求。
表1 技术指标
项 目 指标
六氟乙烷(C2F6)纯度(体积分数)/10-2 ≥ 99.999
氢(H2)含量(体积分数)/10-......
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