GB/T 34894-2017 相关标准英文版PDF

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GB/T 34894-2017	英文版	259	GB/T 34894-2017	[PDF]天数 <=3	微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法	GB/T 34894-2017	有效

基本信息
标准编号	GB/T 34894-2017 (GB/T34894-2017)
中文名称	微机电系统（MEMS）技术基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法
英文名称	Micro-electromechanical system technology -- Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	L55
国际标准分类	31.200
字数估计	13,196
发布日期	2017-11-01
实施日期	2018-05-01
标准依据	国家标准公告2017年第29号
发布机构	中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会

GB/T 34894-2017 Micro-electromechanical system technology-Measuring methodfor strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer ICS 31.200 L55 中华人民共和国国家标准微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的 MEMS微结构应变梯度测量方法 2017-11-01发布 2018-05-01实施中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会发布目次前言 Ⅲ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 测量方法 1 5 影响测量不确定度的主要因素 6 附录A(资料性附录) 光学干涉显微镜的典型形式和主要技术特点 7 前言本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准主要起草单位.中机生产力促进中心、天津大学、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、南京理工大学。本标准主要起草人.胡晓东、郭彤、程红兵、于振毅、李海斌、崔波、朱悦、裘安萍。微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的 MEMS微结构应变梯度测量方法 1 范围本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微悬臂梁结构表面形貌进行应变梯度测量的方法。本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微悬臂梁结构。 2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 3505 产品几何技术规范(GPS) 表面结构轮廓法术语、定义及表面结构参数 GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术术语 GB/T 26113 微机电系统(MEMS)技术微几何量评定总则 GB/T 34893-2017 微机电系统(MEMS)技术基于光学干涉的 MEMS微结构面内长度测量方法 3 术语和定义 GB/T 3505、GB/T 26111和GB/T 34893-2017界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 应变梯度 straingradient 结构内部单位长度的应变变化值。 4 测量方法 4.1 总则 4.1.1 悬臂梁是薄膜力学特性测量中最常用的测量结构,如基于表面 ......

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