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| 标准编号 | GB/T 36653-2018 (GB/T36653-2018) | | 中文名称 | 电子级三甲基铝 | | 英文名称 | Electronic grade trimethylaluminium | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | G86 | | 国际标准分类 | 71.100.20 | | 字数估计 | 10,139 | | 发布日期 | 2018-09-17 | | 实施日期 | 2019-01-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | GB/T 36653-2018
Electronic grade trimethylaluminium
G86
中华人民共和国国家标准
电 子 级 三 甲 基 铝
2018-09-17发布
2019-01-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
中国国家标准化管理委员会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:江苏南大光电材料股份有限公司、中国电子技术标准化研究院。
本标准主要起草人:陈化冰、孙明璐、王香、曹可慰。
电 子 级 三 甲 基 铝
1 范围
本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要
用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:C3H9Al
相对分子质量:72.09(按2013年国际相对原子质量计算)
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文
件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 11446.1 电子级水
GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 15603 常用化学危险品贮存通则
GB 50073 洁净厂房设计规范
3 技术要求
三甲基铝的技术指标应符合表1要求。
表1 技术指标
项 目 指 标
三甲基铝(C3H9Al)纯度(质量分数)/10-2 ≥ 99.99995
金属元素
及其他元
素含量
银(Ag)含量/(μg/g) < 0.2
硼(B)含量/(μg/g) < 0.5
钡(Ba)含量/(μg/g) < 0.1
铍(Be)含量/(μg/g) < 0.......
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