GB/T 38447-2020 相关标准英文版PDF

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GB/T 38447-2020	英文版	339	GB/T 38447-2020	[PDF]天数 <=4	微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法	GB/T 38447-2020	有效

基本信息
标准编号	GB/T 38447-2020 (GB/T38447-2020)
中文名称	微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法
英文名称	Micro-electromechanical system technology - Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
行业	国家标准 (推荐)
中标分类	L55
国际标准分类	31.200
字数估计	18,117
发布日期	2020-03-06
实施日期	2020-07-01
发布机构	国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会

GB/T 38447-2020 Micro-electromechanical system technology--Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration ICS 31.200 L55 中华人民共和国国家标准微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 2020-03-06发布 2020-07-01实施国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会发布目次前言 Ⅰ 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 术语和定义 1 4 试验方法 1 4.1 总则 1 4.2 试验设备 1 4.3 试验环境 2 4.4 样品要求 2 4.5 试验条件 3 4.6 试验步骤 3 4.7 试验报告 4 附录A(资料性附录) 集成激振和检测结构静电器件的试验示例 5 附录B(资料性附录) 外部驱动和集成应变结构(检测位移)器件的试验示例 8 附录C(资料性附录) 基于帕里斯(Paris)定律和韦伯(Weibul)分布的脆性材料疲劳寿命理论表达式 10 附录D(资料性附录) 分析示例 13 参考文献 15 前言本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC336)提出并归口。本标准起草单位:北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。本标准主要起草人:张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法 1 范围本标准规定了 MEMS结构共振疲劳试验的试验方法,包括设备、试验环境、样品要求、试验条件和试验步骤。本标准适用于 MEMS结构的共振疲劳试验。 2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 2298 机械振动、冲击与状态监测词汇 GB/T 10623 金属材料力学性能试验术语 GB/T 26111 微机电系统(MEMS)技术术语 3 术语和定义 GB/T 2298、GB/T 10623、GB/T 26111界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 载荷比 loadratio 周期加载中最大值和最小值的代数比。 3.2 静态试验或共振振动试验在快速幅值增长过程中的破坏强度。 3.3 参考强度 referencestrength 静态强度或瞬时破坏强度。 4 试验方法 4.1 总则通过对样品施加预期振动幅值的共振振动进行疲劳试验。当......

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