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| 标准编号 | GB/T 39157-2020 (GB/T39157-2020) | | 中文名称 | 靶材技术成熟度等级划分及定义 | | 英文名称 | Classification and definition of the technology readiness levels for targets | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H00 | | 国际标准分类 | 77.150.01 | | 字数估计 | 8,870 | | 发布日期 | 2020-11-19 | | 实施日期 | 2021-10-01 | | 标准依据 | 国家标准公告2020年第26号 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、中国国家标准化管理委员会 | | 范围 | 本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。本标准适用于靶材技术成熟度评价。 | GB/T 39157-2020
(Classification and definition of target technology maturity level)
ICS 77.150.01
H00
中华人民共和国国家标准
靶材技术成熟度等级划分及定义
2020-11-19发布
2021-10-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。
本标准由中国有色金属工业协会提出。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。
本标准起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有
限公司、贵研铂业股份有限公司。
本标准主要起草人:高岩、韩知为、熊晓东、腾海涛、赵永善、贺昕、边逸军、陈明、王传军、姚力军、
闻明、徐国进、管丽梅。
靶材技术成熟度等级划分及定义
1 范围
本标准规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。
本标准适用于靶材技术成熟度评价。
2 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
2.1
靶材
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形
式脱离阴极而在阳极表面沉积。
2.2
技术成熟度
技术满足预期靶材应用目标的程度。
2.3
技术成熟度等级
用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.2。
2.4
技术参数
针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。
注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。
2.5
靶材样品
在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验工艺性能的实物,具备
了靶材的部分特性。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.3。
2.6
靶材试制品
在靶材工程化阶段,考虑最终形式,并在实验室环境或使用环境下,对靶材关键性能和功能进行测
试,通过小批量或小规模制备的实物。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.4。
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