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| 标准编号 | GB/T 46699-2025 (GB/T46699-2025) | | 中文名称 | 电子级四甲基硅烷 | | 英文名称 | Electronic grade tetramethylsilane | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | L90 | | 国际标准分类 | 31.030 | | 字数估计 | 18,113 | | 发布日期 | 2025-10-31 | | 实施日期 | 2026-05-01 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会 | GB/T 46699-2025: 电子级四甲基硅烷
中华人民共和国国家标准
ICS 31.030CCS L 90
电子级四甲基硅烷
2025⁃10⁃31 发布
2026⁃05⁃01 实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
前言
本文件按照 GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第 1 部分：标准化文件的结构和起草规则》的规
定起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布
机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（SAC/TC 203）提出并归口。
本文件起草单位：南大光电半导体材料有限公司、苏州实验室、中国电子技术标准化研究院、江苏
南大光电材料股份有限公司、广州赛西标准检测研究院有限公司、长江存储科技有限责任公司、上海市
计量测试技术研究院、中芯国际集成电路制造（北京）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、全椒南大光
电材料有限公司、宁波南大光电材料有限公司、南大光电（乌兰察布）有限公司、浙江中宁硅业股份有限
公司、金宏气体股份有限公司、艾生科（江苏）化工科技有限公司、南大光电（淄博）有限公司。
本文件主要起草人：陈德义、徐文涛、曹可慰、茅炳荣、史泽远、陈功锋、张汝志、马瑞、孙明璐、李春华、
孙鹏、张婷、赵俊莎、张健、鲁铮、李雪、高周、吴怡然、万烨、郝萍、郭威、魏良杰、毛国玉、汪晨、栗广奉、
刘见华、刘立伟、张宝帅、孙丽丽、赵斌、曹益宁、陆平、张鹏、彭元兵、许胜霞、刘能巧、周礼、孟庆典、王艺潼、
孙建、高朋、张佳瑶、钱瑶。
电子级四甲基硅烷
1 范围
本文件规定了半导体行业用电子级四甲基硅烷的技术要求、检验规则、包装、标志、随货资料、运
输、贮存及安全警告的要求，描述了相应的检测方法。
本文件适用于沉积氧化硅、碳化硅等硅基薄膜的电子级四甲基硅烷，作为集成电路的刻蚀硬掩层、
介电层等功能层；也适用于高纯电子清洗剂和标准试剂的电子级四甲基硅烷。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文
件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于
本文件。
GB 190 危险货物包装标志
GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则
GB/T 6324.8 有机化工产品试验方法 第 8 部分：液体产品水分测定 卡尔·费休库仑电量法
GB/T 6680 液体化工产品采样通则
GB/T 11446.1 电子级水
GB 12463 危险货物运输包装通用技术条件
GB 15258 化学品安全标签编写规定
GB 15603 危险化学品仓库储存通则
GB/T 16483-2008 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序
GB/T 17519-2013 化学品安全技术说明书编写指南
GB/T 25915.1 洁净室及相关受控环境 第 1 部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级
GB/T 26793 库伦法微量水分测定仪
GB/T 32566 不锈钢焊接气瓶
GB/T 37837 四极杆电感耦合等离子体质谱方法通则
SJ/T 11637 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则
SJ/T 11638 电子化学品中颗粒的测试方法
3 术语和定义
本文件没有需要界定的术语和定义。
4 技术要求
电子级四甲基硅烷应符合表 1 的规定。
表 1 技术指标要求
有机纯度[Si（CH3）4]/%
元素杂质含量
银（Ag）含量/（µg/kg）
铝（Al）含量/（µg/kg）
砷（As）含量/（µg/kg）
金（Au）含量/（µg/kg）
硼（B）含量/（µg/kg）
钡（Ba）含量/（µg/kg）
铍（Be）含量/（µg/kg）
铋（Bi）含量/（µg/kg）
钙（Ca）含量/（µg/kg）
镉（Cd）含量/（µg/kg）
钴（Co）含量/（µg/kg）
铬（Cr）含量/（µg/kg）
铜（Cu）含量/（µg/kg）
铁（Fe）含量/（µg/kg）
镓（Ga）含量/（µg/kg）
锗（Ge）含量/（µg/kg）
汞（Hg）含量/（µg/kg）
钾（K）含量/（µg/kg）
锂（Li）含量/（µg/kg）
镁（Mg）含量/（µg/kg）
锰（Mn）含量/（µg/kg）
钼（Mo）含量/（µg/kg）
钠（Na）含量/（µg/kg）
铌（Nb）含量/（µg/kg）
镍（Ni）含量/（µg/kg）
铅（Pb）含量/（µg/kg）
锑（Sb）含量/（µg/kg）
锶（Sr）含量/（µg/kg）
锡（Sn）含量/（µg/kg）
钽（Ta）含量/（µg/kg）
钍（Th）含量/（µg/kg）
钛（Ti）含量/（µg/kg）
≥99.9
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≤100
≥99.99
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.5
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.2
≤0.1
≤0.2
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
项 目 E1 E2
元素杂质含量
无机纯度（以元素杂质占比计）/%
氯离子含量/（mg/kg）
水分含量/（mg/kg）
颗粒数量/（pcs/mL）
注 1： “-”表示该项目不做要求。
注 2： 表中未规定的杂质元素含量或颗粒数量指标由供需双方协定。
注 3： E1级为电子级 1级，应用于光纤、光伏、面板及高纯试剂等领域，E2级为电子级 2级，应用于集成电路和先进
封装领域。
铊（Tl）含量/（µg/kg）
铀（U）含量/（µg/kg）
钒（V）含量/（µg/kg）
锌（Zn）含量/（µg/kg）
锆（Zr）含量/（µg/kg）
粒径≥0.1 µm
粒径≥0.2 µm
粒径≥0.5 µm
≤100
≥99.999 9
≤100
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≤0.1
≥99.999 999 9
≤20
≤40
≤12
≤5
表 1 技术指标要求（续）
项 目 E1 E2
5 检测方法
5.1 四甲基硅烷有机纯度的测定
5.1.1 试剂和材料
四甲基硅烷有机纯度的测定所需的试剂和材料如下所示。
a） 高纯氮气：纯度大于 99.999%。
b） 高纯氢气：纯度大于 99.999%。
c） 高纯空气：纯度大于 99.999%。
5.1.2 仪器与设备
5.1.2.1 色谱柱
色谱柱型号：SE⁃30（100% 二甲基聚硅氧烷非极性高性能通用毛细管柱），内壁经过薄膜处理的长
为 30 m、内径为 320 µm 熔融石英毛细管，膜厚 0.25 µm，或其他等效毛细管柱。
5.1.2.2 色谱条件
配有氢火焰离子化检测器（FID）检测器的气相色谱仪。气相色谱仪宜采用的设置条件见表 2。
表 2 气相色谱条件
控制单元
进样口温度
初始柱温
检测器温度
进样量
色谱柱流量（N2）
条件
180 ℃
40 ℃
300 ℃
1 µL
1.5 mL/min
控制单元
氢气流量（H2）
空气流量（Air）
尾吹气流量（N2）
分流比
分流模式
条件
30 mL/min
400 mL/min
25 mL/min
100∶1
恒流模式
采用程序升温测试四甲基硅烷的有机纯度，柱箱程序升温参数应符合表 3 规定。
表 3 程序升温参数
序号
速率/（℃/min）
值/℃
100
保持时间/min
5.1.3 测试方法
有机纯度测试应按照下列步骤进行：
a） 启动仪器，设定气相色谱仪各项操作参数，至仪器基线稳定正常；
b） 使用测试样品置换清洗 10 µL 进样针不少于 3 次，每次进行量 1 µL，进样后测试得到四甲基
硅烷样品图谱见附录 A，计算机采集所有有机组分的峰面积响应值；
c） 样品测试结束后以保留时间定性，面积百分比法定量，积分后得出产品的有机纯度；
d） 有机纯度精密度要求 3 次平行样之间的相对标准偏差（RSD）≤1%，绝对差值≤0.01%；
e） 样品平行测定 3 次，满足精密度要求后，取 3 次测试结果的中位数作为最终的测试结果。
5.2 元素杂质含量和无机纯度的测定
5.2.1 试验环境
元素杂质含量测定时溶液配制、样品处理、含量测试等应在空气洁净度不低于 GB/T 25915.1 中规
定的 ISO 6 级的洁净间环境下进行。
5.2.2 仪器及试剂
5.2.2.1 仪器和设备
元素杂质含量和无机纯度测定所需仪器和设备如下。
a) 电感耦合等离子体质谱仪（ICP⁃MS）。
b） 百级工作台。
c） 精密分析天平：精度为 0.1 mg 及以上。
d） 加热装置（见图 1）或同类加热器：温度范围为 0 ℃~350 ℃，精度为 0.1 ℃。
e） 精密移液器：精度 0.1 µL。
5.2.2.2 试剂及耗材
元素杂质含量和无机纯度测定所需试剂及耗材如下。
a) 高纯气体：高纯氩气，纯度大于 99.999%；高纯氨气，纯度大于 99.999%；高纯氦气，纯度大于
99.999%；高纯氢气，纯度大于 99.999%；高纯空气，纯度大于 99.999%。
b) 超纯水：符合 GB/T 11446.1 中的规定的 EW⁃I级水。
c) 电子级浓硝酸（质量分数 55%）：单个金属杂质小于 0.01 µg/kg。
d) 电子级氢氟酸（质量分数 38%）：单个金属杂质小于 0.01 µg/kg。
e) 电子级标准溶液：采购具有国家标准编号的各被测元素标准溶液（1 000 mg/L），用超纯水采
用梯度稀释方式配制 1 mg/L 各元素混标储备液（保质期不小于 2 个月）。
f) 吹扫瓶。
5.2.3 试样前处理
在测试四甲基硅烷产品中的元素杂质含量时，应对产品进行基体消除前处理（见图 1）。前处理应
按下列步骤进行。
a） 准备 4 个 30 mL 干燥洁净的吹扫瓶，其中一个作为过程空白，另外 3 个分别称取 12 g 四甲基
硅烷样品（ms）到吹扫瓶中，加入 10 mL 氢氟酸充分反应，拧紧瓶盖后转移至氮气吹扫装置上，
打开氮气吹扫阀门持续吹扫，100 ℃加热 2 h，确保溶液完全挥发。
b） 向挥发干的吹扫瓶中加入 12 g 配制好的 1% 电子级硝酸稀释溶液（ma），并充分摇震，使样品
中的元素杂质充分溶解于稀酸溶液中。对 E1级样品宜用 1% 硝酸稀释 1 000 倍后上机测试。
c） 也可使用其他等效前处理。
标引序号说明：
1--高纯氮气源；
2--调压阀；
3--过滤器；
4--流量计；
5--密闭吹扫容器；
6--吹扫瓶；
7--加热装置；
8--尾气吸收装置。
图 1 基体消除装置示意图
5.2.4 标准曲线的绘制
ICP⁃MS 应每次测试前进行调谐，且测试前均先预热，预热完成后进行空白测样，保证基线噪声或
空白条件参数稳定后绘制标准曲线并对待测样品进行测试。
在百级工作台上用超纯水和 1 mg/L 各元素混标储备液配制 0 µg/kg、0.05 µg/kg、0.1 µg/kg、
0.2 µg/kg、0.5 µg/kg、1.0 µg/kg 标准曲线溶液，在 ICP⁃MS 上进行上机测定，记录标准溶液在仪器上元
素特征质量数信号强度值，以待测元素的特征质量数信号强度为纵坐标，待测元素的浓度为横坐标，仪器
自动生成标准曲线（y=aX+b），所绘制标准曲线 R2≥0.995，应按照 SJ/T 11637规定的测定方法执行。
5.2.5 样品测定
把前处理好的过程空白和 3 个样品在 ICP⁃MS 上进样测定，每个样品溶液至少重复测定 3 次，取
中位数，依据待测样品和过程空白中各质量数信号强度值，仪器自动输出待测样品及过程空白中各元
素杂质含量。
5.2.6 结果计算
用测得的样品溶液中待测元素特征质量数信号强度值代入标准曲线计算公式（1）得出样品中待测
元素的含量：
ωi = ()ωS - ωB × m amS （1）
式中：
ωi --被测样品中 i元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
ωS--机测被测样品溶液中 i元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
ωB--机测过程空白溶液中 i元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
ma--1% 电子级硝酸稀释溶液的质量，单位为克（g）；
mS--所称量被测样品的质量，单位为克（g）。
样品无机纯度由公式（2）计算得出：
P = 100 -（ωAg + ωAl + + ωi）× 10-7 （2）
式中：
P --被测样品的无机纯度，%；
ωAg --被测样品中 Ag 元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
ωAl --被测样品中 Al元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
ωi --被测样品中 i元素杂质含量，单位为微克每千克（µg/kg）；
10-7 --换算系数。
5.2.7 检出限及精密度
在 7 份相同的超纯水中添加一定浓度（1/10⁃1/3 标准曲线非零最低浓度点）的标准品，所得信号标
准偏差的 3 倍所对应的浓度为各元素杂质的检出限。定量限采用方法检出限 3.3 倍。定量限的相对
标准偏差≤20%，标准曲线最低浓度点的加标回收率在 80%~120%。
平行测定样品时相对偏差不超过 20%。样品测定结果低于方法定量限时不考察结果的精密度。
5.3 氯离子含量的测定
5.3.1 仪器及试剂
5.3.1.1 仪器和设备
离子色谱仪（IC）。
5.3.1.2 试剂及耗材
氯离子含量测定所需试剂及耗材如下所示。
a) 淋洗液制备：配制成 6.3 mmol/L 碳酸钠和 1.7 mmol/L 碳酸钠淋洗液。
b) 电子级标准溶液：采购具有国家标准编号的氯离子标准溶液（1 000 mg/L）。
c) 塑料取样瓶：材质为高纯 FEP，规格为 60 mL。
d) 分液漏斗：材质为高纯 PFA，规格是 150 mL。
5.3.2 试样前处理
产品中氯离子含量测定时溶液配制、样品处理、含量测试等应在空气洁净度不低于 GB/T 25915.1
中规定的 ISO 6 级的洁净间环境下进行。步骤如下：
a） 准备 3 个干净干燥的 150 mL 分液漏斗和 1 个过程空白分液漏斗，分别向上述 4 个分液漏斗
内加入 10 g 纯水；
b） 向 3 个分液漏斗内按产品和纯水体积 2∶1 比例准确称取四甲基硅烷样品，过程空白漏斗内加
入等质量的纯水；
c） 盖上漏斗上盖充分震荡混匀，静置，分层后接下层水样待测。
也可使用直接进样法或其他等效前处理。
5.3.3 标准曲线的绘制
离子色谱仪应每次测试前进行淋洗液及色谱仪条件进行确认，且测试之前均先预热 2 h，预热完成
基线波动振幅≤0.005 µs 后保证基线噪声或空白条件参数稳定后绘制标准曲线并对待测样品进行测
试。
用超纯水和 1 mg/L 氯离子标准储备液配制 0 µg/kg、100 µg/kg、200 µg/kg、500 µg/kg、1 000 µg/kg
标准曲线标准溶液，在 IC 上进行进样测定，先用保留时间对色谱峰进行定性，每种标准溶液至少重复
测定 3 次，取平均值，绘制以标准溶液氯离子峰面积为纵坐标，以待测元素的浓度为横坐标，离子色谱
仪自动生成保留时间和峰面积为变量的标准曲线，线性系数≥0.999。
5.3.4 样品测定
把前处理好的过程空白和 3 个样品在离子色谱仪上进行上机测定，每个样品溶液至少重复测定
3 次，用保留时间定性，依据待测样品和过程空白样品溶液中氯离子峰面积，仪器自动输出待测样品及
过程空白中各元素杂质含量。
5.3.5 结果计算
把待测样品溶液和过程空白溶液中氯离子含量代入公式（3）计算出样品中氯离子含量：
cCl =（c样品 - c空白）× 12 （3）
式中：
cCl --被测样品中氯离子含量，单位为毫克每千克（mg/kg）；
c 样品--待测样品溶液中氯离子含量，单位为毫克每千克（mg/kg）；
c 空白--过程空白溶液中氯离子含量，单位为毫克每千克（mg/kg）；
1/2 --稀释因子。
样品平行测定 3 次，满足精密度要求后，取 3 次测试结果的中位数作为最终的测试结果。
5.4 水分含量的测定
所用微量水分测定仪应符合 GB/T 26793 规定，测定方法应按 GB/T 6324.8 的规定执行。
可采用其他等效的方法测定四甲基硅烷中水含量。当测定结果有异议时，以 GB/T 6324.8 规定的
方法为仲裁方法。
5.5 颗粒数量的测定
应按 SJ/T 11638 的规定执行。
6 检验规则
6.1 组批与抽样
6.1.1 以罐装前的每个成品罐为一个批次。
6.1.2 采样安全应符合 GB/T 3723中对危险物质的具体规定，采样方法方式应符合 GB/T 6680中采样
操作方法的相关规定。成品抽样时，桶装产品应按前中后的顺序进行取样，采样过程使用全密闭管路灌
充或置于 GB/T 25915.1中规定的 ISO 6级超净室环境中放置不少于 30 min，待其稳定后开盖采样。
6.1.3 所采样品不少于 500 mL，装于不锈钢取样钢瓶或等效取样瓶内混匀，填写取样记录和钢瓶挂
卡，注明：产品名称、批号、采样量、采样日期、采样人等信息。
6.2 检验项目
6.2.1 应按照表 1 要求的项目和指标进行全项出厂检测。
6.2.2 型式检验项目为第 4 章规定的全部项目。正常生产情况下，每年至少应进行一次型式检验。出
现下列情况之一时，也应进行型式检验：
a） 原料、工艺、设备有较大变化时；
b） 长期停产恢复生产时；
c） 产品转厂生产时；
d） 出厂检验结果与型式检验结果差异较大时；
e） 质量监督部门提出要求时。
6.3 检验结果判定标准
每个样品的检验结果均符合本文件规定的要求时，判定检验合格。任一样品中有任一指标不符合
本文件规定的要求时，允许加倍取样复检。复检结果合格，则判定检验合格，否则判定检验不合格。
7 包装、标志及随货资料
7.1 包装
产品包装应符合以下要求。
a） 包装产品的钢瓶应符合 GB/T 32566 规定，内部应满足充装电子级化学品要求。
b） 在充装前需要对钢瓶内部进行清洗，并检测漏率、元素杂质、水分、氧含量及颗粒度指标。当
指标合格后，可进行产品充装。钢瓶的接口连接方式根据客户要求协商确定。接头上应具有
防尘保护塞，瓶阀外围应具有塑封保护。
c） 充装时，宜采用常压或不高于 0.6 MPa 的压力进行充装。充装量应不大于钢瓶容积的 90%。
d） 钢瓶内部应充有一定量的保护气，保护气压力小于 0.5 MPa，以防止空气进入并与产品发生
反应。保护气可选纯度不低于 6 N 的高纯氮气或高纯氦气，具体品种及充装压力由供需双方
商定。
e） 产品的防护性包装应符合 GB 12463 的规定。
7.2 标志
产品的包装标志应符合 GB 190的相关规定，标签应符合 GB 15258规定的要求，安全信息见附录 B。
7.3 随货资料
7.3.1 产品出厂时应有出厂检测报告（COA），其内容至少应包括：
a） 产品的中英文产品名称，制造商信息；
b） 生产日期或批号，以及有效期或剩余有效期；
c） 充装质量；
d） 检验所依照文件名称及文件编号；
e) 表 1 中产品所有出厂检测项目指标和检测结果。
7.3.2 此外还应包含《化学品安全说明书（MSDS）》和《化学品安全标签（CSL）》，其他要求由供需双方
协定。其中《化学品安全说明书（MSDS）》按照 GB/T 16483-2008 和 GB/T 17519-2013 规定的要求
编制；《化学品安全标签（CSL）》按照 GB 15258 规定的要求编制。
8 运输和贮存
8.1 充装了产品的钢瓶在运输过程中，应轻提轻放，不应日光暴晒与猛烈撞击，不应与氧化剂与有毒有
害物质混运，防止污染。搬运钢瓶时需小心谨慎，避免撞击，轻拿轻放，防止容器破损。
8.2 产品贮存符合以下要求：
a） 产品应符合 GB 15603 的规定；
b) 产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，避免暴晒，并远离热源，室温存储，应与氧化剂、酸
类、碱类分开存放，不应混储；
c） 存储区域应采用防爆型照明、通风设施，不应使用易产生火花的机械设备和工具；
d） 存储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料；
e) 电子级四甲基硅烷产品的保质期为 2 年，出货剩余有效期≥50%，以罐装日期为起始日期。
9 安全警告
9.1 本试验方法中使用的部分试剂具有毒性、腐蚀性及易燃性，操作者应小心谨慎如溅到皮肤上应立
即用水冲洗，严重者应立即治疗。使用易燃品时，严禁使用明火加热。
9.2 四甲基硅烷是一种易燃液体，遇水释放出自燃气体，具有闪燃性，操作时应隔绝空气、湿气，穿戴
防护眼镜、手套和防护服，工作现场应远离水源。
附 录 A
（资料性）
测试信息
A.1 电子级四甲基硅烷样品气相色谱积分处理图谱
对达到指标要求的电子级四甲基硅烷样品进行气相色谱测试，如图 1 所示。
图A.1 电子级四甲基硅烷的气相色谱的测试图谱
A.2 保留时间
A.2.1 测试样品所含峰：四甲基硅烷和异戊烷。
A.2.2 四甲基硅烷的保留时间为 2.162 min。
A.2.3 异戊烷的保留时间为 2.282 min。
附 录 B
（资料性）
安全信息
B.1 基本信息
B.1.1 化学式：Si（CH3）4；中文名：四甲基硅烷；英文名：Tetramethylsilane（4MS）。
B.1.2 相对分子质量：88.23（按 2018 年国际相对原子质量计算）。
B.1.3 代码：CAS 号，75⁃76⁃3；UN 编号，2810 6.1/PG 3。
B.1.4 物理性质：沸点 26 ℃~28 ℃，熔点-99 ......
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