路径: 主页 > GB/T > 第734页 > GB/T 47097-2026 | 标准编号 | GB/T 47097-2026 (GB/T47097-2026) | | 中文名称 | 氮化铝单晶抛光片 | | 英文名称 | Polished monocrystalline aluminum nitride wafers | | 行业 | 国家标准 (推荐) | | 中标分类 | H83 | | 国际标准分类 | 29.045 | | 发布日期 | 2026-01-28 | | 实施日期 | 2026-08-01 | GB/T 47097-2026: 氮化铝单晶抛光片
ICS 29.045
CCSH83
中华人民共和国国家标准
氮化铝单晶抛光片
2026-01-28发布
2026-08-01实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局
国 家 标 准 化 管 理 委 员 会 发 布
目次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 分类与牌号 1
5 技术要求 2
6 试验方法 4
7 检验规则 4
8 标志、包装、运输、贮存及随行文件 5
9 订货单内容 6
附录A(规范性) 氮化铝单晶抛光片位错密度测试方法 7
前言
本文件按照GB/T 1.1-2020《标准化工作导则 第1部分:标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国半导体设备和材料标准
化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC203/SC2)共同提出并归口。
本文件起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所、有色金属技术经济研究院有限责任
公司、奥趋光电技术(杭州)有限公司、北京中材人工晶体研究院有限公司、江苏第三代半导体研究院有
限公司、北京大学、深圳大学、北京大学东莞光电研究院、中电晶华(天津)半导体材料有限公司。
本文件主要起草人:张丽、何烜坤、程红娟、王英民、贺东江、李素青、姚康、吴亮、周振翔、王琦琨、
齐海涛、于彤军、武红磊、王新强、李明达。
氮化铝单晶抛光片
1 范围
本文件规定了氮化铝单晶抛光片(以下简称“抛光片”)的牌号与分类、技术要求、检验规则、标志、
包装、运输、贮存、随行文件和订货单内容,描述了相应的试验方法。
本文件适用于微波功率器件用直径为25.4mm和50.8mm的抛光片的生产、检验及质量评价。
2 规范性引用文件
下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中,注日期的引用文
件,仅该日期对应的版本适用于本文件;不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于
本文件。
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3 术语和定义
GB/T 14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。
3.1
由铝(Al)和氮(N)化合而成的单晶半导体材料。
3.2
氮化铝单晶(......
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