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| 标准编号 | JJF 1062-2022 (JJF1062-2022) | | 中文名称 | 电离真空计校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Ionization Vacuum Gauges | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A58 | | 字数估计 | 17,158 | | 发布日期 | 2022-04-29 | | 实施日期 | 2022-10-29 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 |
JJF 1062-2022
中华人民共和国国家计量技术规范
电离真空计校准规范
2022-04-29发布
2022-10-29实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
电离真空计校准规范
VacuumGauges
代替JJF1062-1999
JJG462-2004
归 口 单 位:全国压力计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:云南省计量测试技术研究院
成都国光电气股份有限公司
本规范委托全国压力计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
王金库 (中国计量科学研究院)
于红燕 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
周 莹 (云南省计量测试技术研究院)
李 泞 (成都国光电气股份有限公司)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和计量单位 (1)
3.1 术语 (1)
3.2 计量单位 (1)
4 概述 (2)
5 计量特性 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 计量标准及其他设备 (2)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 校准项目 (3)
7.2 校准方法 (3)
7.3 数据处理 (5)
8 校准结果表达 (6)
9 复校时间间隔 (6)
附录A 电离真空计校准记录格式 (7)
附录B 电离真空计校准证书内页格式 (8)
附录C 电离真空计测量结果的不确定度评定示例 (9)
引 言
JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011 《通用计量术语及
定义》、JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》和GB/T 3163-2007 《真空技
术 术语》共同构成本规范制定的基础性系列规范。
本规范参考了JB/T 7463-2005 《热阴极电离真空计》、GB/T 34873-2017《真空
计 与标准真空计直接比较校准》、GB/T 34876-2017 《真空技术 真空计 与标准真
空计直接比较校准结果的不确定度评定》,采用了其中的基本原则,对具体方法和技术
指标进行了细化、补充和修改。
本规范代替JJF1062-1999 《电离真空计》及JJG462-2004 《二等标准电离真空
计》。
与JJF1062-1999和JJG462-2004相比,除编辑性修改外,主要技术变化如下:
---删除规管常数和电路的电参数检测部分;
---删除压力示值误差超差判据;
---原规范中要求标准装置校准室的本底压力不大于被校真空计压力下限测量点压
力值的2%,本次修订将该数值修改为10% (见7.2.2.1和7.2.2.2);
---增加不确定度评定方法 (见附录C)。
本规范的历次版本发布情况为:
---JJG462-2004;JJF1062-1999。
电离真空计校准规范
1 范围
本规范适用于测量范围在1×10-9Pa~1×102Pa的电离真空计校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
GB/T 3163-2007 真空技术 术语
GB/T 3164-2007 真空技术 图形符号
GB/T 34873-2017 真空计 与标准真空计直接比较校准
GB/T 34876-2017 真空技术 真空计 与标准真空计直接比较校准结果的不确
定度评定
JB/T 7463-2005 热阴极电离真空计
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和计量单位
3.1 术语
3.1.1 真空计 vacuumgauge
测量低于大气压力的气体或蒸汽压力的一种仪器。
[GB/T 3163-2007,定义4.1.2]
3.1.2 规管 gaugehead
某些种类的真空计中,包含压力敏感元件并直接与真空系统连接的部件。
通过测量气体在控制条件下电离产生的离子流来确定分子密度,进而测得压力的一
种真空计。
3.1.4 校准室 calibrationchamber
标准装置中用于安装被校准仪器的真空室。
3.1.5 本底压力 basepre......
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