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| 标准编号 | JJF 1351-2012 (JJF1351-2012) | | 中文名称 | 扫描探针显微镜校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 17,147 | | 引用标准 | JJF 1001-2011; GB/T 19067.1-2003 | | 标准依据 | 国家质检总局公告2012年第96号;; | | 发布机构 | 国家质量监督检验检疫总局 | | 范围 | 本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。扫描探针显微镜根据其设计原理不同, 校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务, 如对溯源要求较高的测量, 不在本校准规范的适用范围。 | JJF 1351-2012
Calibration Specification for Scanning Probe Microscopes
中华人民共和国国家计量技术规范
扫描探针显微镜校准规范
2012-06-18发布
2012-09-18实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
扫描探针显微镜
校准规范
es
归 口 单 位:全国几何量长度计量技术委员会
主要起草单位:中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所
上海计量测试技术研究院
贵州计量测试院
参加起草单位:中国计量科学研究院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
朱振宇 (中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研
究所)
任冬梅 (中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研
究所)
傅云霞 (上海计量测试技术研究院)
李 源 (上海计量测试技术研究院)
吕小洁 (贵州计量测试院)
参加起草人:
卢明臻 (中国计量科学研究院)
李华丰 (中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研
究所)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和定义 (1)
3.1 扫描探针显微镜 (1)
3.2 扫描探针显微镜Z向漂移 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (2)
5.1 扫描探针显微镜Z向漂移 (2)
5.2 X、Y 轴位移测量误差 (2)
5.3 Z轴位移测量误差 (2)
5.4 扫描探针显微镜测量重复性 (2)
5.5 X、Y 坐标正交性误差 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 标准器 (2)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 扫描探针显微镜Z向漂移 (3)
7.2 X、Y 轴位移测量误差 (4)
7.3 Z轴位移测量误差 (5)
7.4 扫描探针显微镜测量重复性 (6)
7.4.1 X、Y 轴测量重复性 (6)
7.4.2 Z轴测量重复性 (6)
7.5 X、Y 坐标正交性误差 (6)
8 校准结果表达 (7)
9 复校时间间隔 (7)
附录A 扫描探针显微镜校准结果的测量不确定度评定 (8)
引 言
本规范为初次发布。制定本规范的目的主要是解决工业中扫描探针显微镜校准问
题。规范编制中参考了国际上纳米计量领域的一些理论性研究成果,并以实际纳米计量
工作中的一些实验数据为基础制定了本规范。
扫描探针显微镜校准规范
1 范围
本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。
扫描探针显微镜根据其设计原理不同,校准时需要根据实际情况选择相关的计量特
性。对有特殊要求的测量任务,如对溯源要求较高的测量,不在本校准规范的适用范围。
2 引用文件
本规范引用下列文件:
JJF1001-2011 通用计量术语及定义
GB/T 19067.1-2003 产品几何量技术规范 (GPS)表面结构 轮廓法 测量标
准 第1部分:实物测量标准
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和定义
具有扫描测量功能的探针显微镜的统称。主要包含原子力显微镜 (AFM)、扫描隧
道显微镜 (STM)等。
3.2 扫描探针显微镜Z向漂移 SPMZ-directiondrift
扫描探针显微镜定点测量时Z向测量值的漂移。
4 概述
扫描探针显微镜具有高分辨力、实时、原位成像等特征。对样品无特殊要求,不受
样品的干燥度、形状、......
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