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| 标准编号 | JJF 1739-2019 (JJF1739-2019) | | 中文名称 | 数字式激光球面干涉仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Digital Laser Spherical Interferometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 20,229 | | 发布日期 | 2019 | | 实施日期 | 2019-12-27 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 1739-2019
(Calibration Specification of Digital Laser Spherical Interferometer)
中华人民共和国国家计量技术规范
数字式激光球面干涉仪校准规范
2019-09-27发布
2019-12-27实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
数字式激光球面干涉仪校准规范
归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会
主要起草单位:中国科学院光电技术研究所
中国测试技术研究院
参加起草单位:中国计量科学研究院
苏州慧利仪器有限责任公司
本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
侯 溪 (中国科学院光电技术研究所)
全海洋 (中国科学院光电技术研究所)
冉 庆 (中国测试技术研究院)
宋伟红 (中国科学院光电技术研究所)
参加起草人:
康岩辉 (中国计量科学研究院)
韩 森 (苏州慧利仪器有限责任公司)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和定义 (1)
3.1 面形偏差 (1)
3.2 峰谷值 (1)
3.3 PVr值 (1)
3.4 球面元件F 数 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (2)
5.1 示值误差 (2)
5.2 测量重复性 (2)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 校准用标准器 (2)
7 校准项目和校准方法 (3)
7.1 示值误差 (3)
7.2 测量重复性 (5)
8 校准结果表达 (5)
9 复校时间间隔 (5)
附录A PVr值 (6)
附录B 三位置法公式推导 (7)
附录C 数字式激光球面干涉仪直接比较法校准不确定度评定示例 (9)
附录D 数字式激光球面干涉仪三位置法校准不确定度评定示例 (11)
附录E 校准证书信息及内页格式 (15)
引 言
本规范的编写以JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001-2011
《通用计量术语及定义》和JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》为基础和
依据。
本规范为首次发布。
数字式激光球面干涉仪校准规范
1 范围
本规范适用于数字式激光球面干涉仪的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJF1100-2016 平面等厚干涉仪校准规范
GB/T 2831-2009 光学零件的面形偏差
ISO 14999-4:2015 光学和光子学 光学元件和光学系统的干涉测量 第4部分:
ancesspecifiedinISO 10110)
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用本规范。
3 术语和定义
GB/T 2831-2009、ISO 14999-4:2015界定的及以下术语和定义适用于本规范。
3.1 面形偏差 surfaceformdeviation
被测光学表面相对于参考光学表面的偏差。
3.2 峰谷值 peak-to-valey(PV)value
面形偏差最大值减去最小值,简称PV值。
3.3 PVr值 robustpeak-to-valey(PVr)value
面形偏差的36项Zernike多项式拟合面PV值加上3倍拟合残差 (面形偏差减去
36项Zernike多项式拟合面)的均方根值。
注:Zernike多项式定义按ISO 14999-4:2015附录B标准定义。
球面曲率半径与通光口径的比值。
注:被测球面元件F 数应当小于或等于数字式激光球面干涉仪球面镜头F 数,才能实现数字式
激光球面干涉仪全口径校准。建议选取F 数最接近 (略小于)被校准数字式激光球面干涉仪球面镜
头F 数的被测球面元件,同时光腔长度应尽可能短以提升测量重复性。
4 概述
数字式激光球面干涉仪主要用于......
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