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| 标准编号 | JJF 1895-2021 (JJF1895-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | Calibration Specification for Semiconductor Devices DC and Low Frequency Parameters Test Equipment | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A55 | | 字数估计 | 34,350 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 1895-2021
Calibration Specification for Semiconductor Devices DC and Low Frequency Parameters Test Equipments
中华人民共和国国家计量技术规范
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
2021-02-23发布
2021-08-23实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
TestEquipments
代替JJG725-1991
归 口 单 位:全国无线电计量技术委员会
主要起草单位:中国电子技术标准化研究院
参加起草单位:中国计量科学研究院
北京市科通电子继电器总厂有限公司
中国电子科技集团公司第十三研究所
北京励芯泰思特测试技术有限公司
本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
刘 冲 (中国电子技术标准化研究院)
李 洁 (中国电子技术标准化研究院)
张 珊 (中国电子技术标准化研究院)
参加起草人:
高 英 (中国计量科学研究院)
李 奇 (北京市科通电子继电器总厂有限公司)
乔玉娥 (中国电子科技集团公司第十三研究所)
李力军 (北京励芯泰思特测试技术有限公司)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 概述 (1)
3 计量特性 (1)
3.1 直流电阻 (1)
3.2 电压输出 (1)
3.3 电压指示 (1)
3.4 电流输出 (1)
3.5 电流指示 (1)
3.6 低频信号源 (1)
3.7 低频h参数 (1)
4 校准条件 (2)
4.1 环境条件 (2)
4.2 校准用设备 (2)
5 校准项目和校准方法 (3)
5.1 校准项目 (3)
5.2 外观和工作正常性检查 (3)
5.3 直流电阻 (3)
5.4 电压输出 (4)
5.5 电压指示 (6)
5.6 电流输出 (7)
5.7 电流指示 (9)
5.8 低频信号源 (10)
5.9 低频h参数 (11)
6 校准结果表达 (12)
7 复校时间间隔 (12)
附录A 原始记录格式 (13)
附录B 校准证书内页格式 (18)
附录C 主要项目校准不确定度评定示例 (23)
附录D 被校设备的结构图、面板及测试夹具端子说明示例 (29)
引 言
本规范依据JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》和JJF1059.1-2012
《测量不确定度评定与表示》编写。
本规范是在JJG725-1991 《晶体管直流和低频参数测试仪》基础上进行修订。与
JJG725-1991相比,除编辑性修改以外,主要技术变化如下:
---修订了电流输出、电流指示等校准项目;
---增加了主要项目校准结果不确定度评定的示例 (见附录C)。
本规范历次版本发布情况:
---JJG725-1991。
半导体器件直流和低频参数
测试设备校准规范
1 范围
本规范适用于半导体器件直流和低频参数测试设备的校准。
2 概述
半导体器件直流和低频参数测试设备 (以下简称被校设备)由偏置电压源、偏置电
流源、电压测量单元、电流测量单元、低频信号源等组成,主要用于各类半导体器件直
流参数、低频参数的测试。
3 计量特性
3.1 直流电阻
范围:0.005Ω~20GΩ,最大允许误差:± (0.1%~1%)。
3.2 电压输出
a)直流电压:± (0.01V~10kV),最大允许误差:± (0.1%~3%);
b)交流电压:± (0.1V~5000V),最大允许误差:± (1%~5%),频率:
50Hz。
3.3 电压指示
a)直流电压:± (0.01V~10kV),最大允许误差:± (0.1%~3%);
b)交流电压:± (0.1V~5000V),最大允许误差:± (1%~5%),频率:
50Hz。
3.4 电流输出
a)直流电流:± (1nA~10A),最大允许误差:± (0.1%~1%);
b)脉冲电流:± (1A~1200A),最大允许误差:± (0.5%~3%),单脉冲,
脉冲宽度:250μs~10ms。
3.5 电流指示
a)直流电流:± (1nA~10A),最大允许误差:± (0.1%~1%);
b)脉冲电流:± (1A~1200A)......
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