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| 标准编号 | JJF 1916-2021 (JJF1916-2021) | | 中文名称 | | | 英文名称 | (Scanning Electron Microscope Calibration Specification) | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A61 | | 字数估计 | 13,124 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 1916-2021
(Scanning Electron Microscope Calibration Specification)
中华人民共和国国家计量技术规范
扫描电子显微镜校准规范
2021-07-28发布
2022-01-28实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
扫描电子显微镜校准规范
代替JJG550-1988
归 口 单 位:全国几何量长度计量技术委员会
主要起草单位:中国计量科学研究院
参加起草单位:广州市计量检测技术研究院
浙江省计量科学研究院
上海市计量测试技术研究院
山东省计量科学研究院
本规范委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
李 伟 (中国计量科学研究院)
高思田 (中国计量科学研究院)
施玉书 (中国计量科学研究院)
参加起草人:
古耀达 (广州市计量检测技术研究院)
茅振华 (浙江省计量科学研究院)
傅云霞 (上海市计量测试技术研究院)
赵东生 (山东省计量科学研究院)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和定义 (1)
3.1 标准样板 (1)
4 概述 (1)
5 计量特性 (1)
6 校准条件 (2)
6.1 环境条件 (2)
6.2 校准用标准器 (2)
7 校准项目和校准方法 (2)
7.1 测长示值误差 (2)
7.2 正交畸变 (3)
7.3 线性失真度 (3)
8 校准结果表达 (4)
9 复校时间间隔 (4)
附录A 扫描电子显微镜测长示值误差的不确定度评定示例 (5)
附录B 比例尺校准值 (7)
附录C 校准证书内容及内页格式 (8)
引 言
JJF1071 《国家计量校准规范编写规则》、JJF1001 《通用计量术语及定义》和
JJF1059.1 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制修订工作的基础性系列
规范。
本规范是对JJG550-1988 《扫描电子显微镜 (试行)》的修订。修订过程中参照
了GB/T 20307-2006 《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》和GB/T 27788-2011
《微束分析 扫描电镜 图像放大倍率校准导则》。与JJG550-1988相比,除编辑性修
改外,主要技术变化如下:
---增加了扫描电镜测长示值误差的校准;
---增加了Y 方向的测长示值误差校准;
---删除了真空度的测量;
---删除了X射线泄漏量的测量;
---增加了附录B “比例尺校准值”。
本规范的历次版本发布情况为:
---JJG550-1988。
扫描电子显微镜校准规范
1 范围
本规范适用于扫描电子显微镜的校准。
2 引用文件
本规范引用了下列文件:
JJF1071-2010 国家计量校准规范编写规则
GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本规范。
3.1 标准样板 referenceartifact
具有多个等间距栅格的样板,其栅格间距经过国家法定计量检定机构校准,间距值
溯源到国家基准。
4 概述
扫描电子显微镜 (以下简称 “电镜”)利用聚焦的电子束在样品表面逐点扫描,电
子与样品作用产生二次电子信号以及背散射电子信号,由此获得表面形貌图像,可以达
到纳米级的分辨力。其结构示意见图1。
图1......
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