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| 标准编号 | JJF 2067-2023 (JJF2067-2023) | | 中文名称 | X 射线能谱仪校准规范 | | 英文名称 | Calibration Specification for Energy-Dispersive X-ray Spectrometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 字数估计 | 18,196 | | 发布日期 | 2023-10-12 | | 实施日期 | 2024-04-12 | | 发布机构 | 国家市场监督管理总局 | JJF 2067-2023: X 射线能谱仪校准规范
中华人民共和国国家计量技术规范
X射线能谱仪校准规范
2023-10-12发布
2024-04-12实施
国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布
X射线能谱仪校准规范
Energy-DispersiveX-raySpectrometers
归 口 单 位:全国新材料与纳米计量技术委员会
主要起草单位:山东省计量科学研究院
中国计量科学研究院
苏州市计量测试院
参加起草单位:上海市计量测试技术研究院
本规范委托全国新材料与纳米计量技术委员会负责解释
本规范主要起草人:
曹 丛 (山东省计量科学研究院)
李 适 (中国计量科学研究院)
王云祥 (苏州市计量测试院)
参加起草人:
李 旭 (中国计量科学研究院)
赵东升 (山东省计量科学研究院)
施玉书 (中国计量科学研究院)
周 莹 (上海市计量测试技术研究院)
目 录
引言 (Ⅱ)
1 范围 (1)
2 引用文件 (1)
3 术语和计量单位 (1)
3.1 X射线能谱仪 (1)
3.2 谱峰半高宽 (1)
3.3 定量分析 (1)
3.4 标准物质 (1)
3.5 过压比 (1)
3.6 死时间 (2)
4 概述 (2)
5 计量特性 (2)
5.1 能量分辨率 (2)
5.2 元素含量测量的相对示值误差 (3)
5.3 元素含量测量的重复性 (3)
6 校准条件 (3)
6.1 环境条件 (3)
6.2 测量标准及其他设备 (3)
7 校准项目和校准方法 (4)
7.1 校准前准备 (4)
7.2 能量分辨率 (4)
7.3 元素含量测量的相对示值误差 (4)
7.4 元素含量测量的重复性 (5)
8 校准结果表达 (5)
9 复校时间间隔 (5)
附录A X射线能谱仪元素含量测量的相对示值误差测量不确定度评定示例 (6)
附录B X射线能谱仪校准记录格式 (8)
附录C X射线能谱仪校准证书 (内页)格式 (10)
引 言
JJF1001 《通用计量术语及定义》、JJF1071-2010 《国家计量校准规范编写规则》
和JJF1059.1-2012 《测量不确定度评定与表示》共同构成支撑本规范制定工作的基础
性文件。本规范主要参考了 GB/T 17359-2012 《微束分析 能谱法定量分析》、
GB/T 20726-2015《微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查
方法》、GB/T 21636-2021 《微束分析 电子探针 显 微 分 析 (EPMA)术 语》、
GB/T 25189-2010 《微束分析 扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法》等相关国
家标准内容。
本规范为首次发布。
X射线能谱仪校准规范
1 范围
本规范适用于基于扫描电子显微镜或者电子探针的X射线能谱仪的校准。
2 引用文件
本规范引用下列文件:
JJF1071 国家计量校准规范编写规则
GB/T 20726-2015 微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及
核查方法
GB/T 21636-2021 微束分析 电子探针显微分析 (EPMA)术语
凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本规范;凡是不注日期的引用文
件,其最新版本 (包括所有的修改单)适用于本规范。
3 术语和计量单位
GB/T 20726-2015和GB/T 21636-2021界定的及下列术语和定义适用于本规范。
3.1 X射线能谱仪 energy-dispersiveX-rayspectrometer;EDS
同时记录整个X射线谱,来测定X射线强度作为辐射能量函数的装置。
注:X射线能谱仪包括固态探测器、前置放大器和脉冲处理器。探测器将X射线光子能转换为
电脉冲,并经前置放大器进行信号放大。脉冲处理器根据波幅将脉冲分类并形成X射线强
度对能量的直方图分布。
[来源:GB/T 20726-2015,3.1,有修改]
谱峰扣除背底后强度最高值之半处的峰宽度,单位为电子伏特 (eV)。
注:最大峰强度是通过拟合相应的谱峰所有通道来测定,峰宽是在峰高一半处测量。
[来源:GB/T 21636-2021,5.6.7]
3.3 定量分析 quantitativeanalysis
运用电子激发X射线谱的方法在微米尺度分析体积中测定元素含量。
[来源:GB/T 21636-2021,6......
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