搜索结果: JJG 739-2005, JJG739-2005
| 标准编号 | JJG 739-2005 (JJG739-2005) | | 中文名称 | 激光干涉仪检定规程 | | 英文名称 | Verification Regulation of Laser Interferometers | | 行业 | 计量行业标准 | | 中标分类 | A52 | | 国际标准分类 | 17.040 | | 字数估计 | 12,164 | | 发布日期 | 2005-10-09 | | 实施日期 | 2006-04-09 | | 旧标准 (被替代) | JJG 739-1991 | JJG 739-2005
Verification Regulation of Laser Interferometers
中华人民共和国国家计量检定规程
激 光 干 涉 仪
2005-10-09发布
2006-04-09实施
国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布
激光干涉仪检定规程
代替JJG739-1991
本规程经国家质量监督检验检疫总局2005年10月09日批准,并自
2006年04月09日施行。
归 口 单 位:全国几何量长度计量技术委员会
起 草 单 位:中国计量科学研究院
本规程委托全国几何量长度计量技术委员会负责解释
本规程起草人:
许 婕 (中国计量科学研究院)
邹玲丁 (中国计量科学研究院)
目 录
1 范围 (1)
2 引用文献 (1)
3 术语 (1)
4 概述 (1)
5 计量性能要求 (1)
5.1 激光波长不确定度 (1)
5.2 位移测量示值误差 (1)
5.3 环境参数示值误差 (1)
5.4 角度分度误差 (2)
5.5 直线度示值误差 (2)
5.6 非线性 (2)
6 通用技术要求 (2)
6.1 外观 (2)
6.2 仪器各部分相互作用 (2)
6.3 预热时间 (2)
7 计量器具控制 (2)
7.1 检定条件 (2)
7.2 检定项目 (3)
7.3 检定方法 (3)
7.4 检定结果处理 (5)
7.5 检定周期 (5)
附录 检定证书 (内页)格式 (6)
激光干涉仪检定规程
1 范围
本规程适用于激光干涉仪的首次检定和后续检定。
2 引用文献
本规程引用下列文献:
JJG353-1994 兰姆凹陷稳频 He-Ne激光器检定规程
JJG860-1994 压力传感器 (静态)检定规程
JJG998-2005 激光小角度测量仪检定规程
JJF1001-1998 通用计量术语及定义
JJF1059-1999 测量不确定度评定与表示
JJF1094-2002 测量仪器特性评定技术规范
使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。
3 术语
激光干涉仪非线性:指激光干涉仪为了获得高分辨力,在一个干涉周期内对干涉条
纹进行细分时引起的测长误差。
4 概述
激光干涉仪是以激光波长为测量标准,进行位移、直线度、角度等几何量测量的高
精度、多功能计量仪器。它是利用两束单频激光束,或两束具有微小固定频差的双频激
光束,进行干涉测量的仪器。
激光干涉仪包括激光头、电箱 (其中包括数据传输卡)、光学组件、计算机、环境
参数传感器、测量软件等。主要用于机床、加工中心、坐标测量机等设备的检测。
5 计量性能要求
5.1 激光波长不确定度
激光波长的相对扩展不确定度应符合1×10-7 (k=3)。
5.2 位移测量示值误差
5.2.1 标准条件下的位移测量的最大允许示值误差:±(0.03+0.5L)μm。
L---测量长度,单位m。
5.2.2 使用空气参数补偿单......
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