搜索结果: SJH 20711-1998, SJH20711-1998
| 标准编号 | SJ 20711-1998 (SJ20711-1998) | | 中文名称 | 分步投影曝光机通用规范 | | 英文名称 | General specification for step and repeat exposure systems | | 行业 | 电子行业标准 | | 中标分类 | N46 | | 字数估计 | 11,171 | | 发布日期 | 3/18/1998 | | 实施日期 | 5/1/1998 | | 引用标准 | GB 191-90; GB 3768-83; GB 5080.7-86; GB 6388-86 | | 范围 | 本标准规定了分步投影曝光机(以下简称曝光机)的分类、要求、质最保证规定和交货准备等。本标准适用于超大规范集成电路(VLSI)和专用集成芯片(ASIC)以及其它器件的微细光刻设备。其它类型的曝光机也可参照使用。 | ......
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