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收录标准: 222397 (2026-05-14)
SJH 21128-2016 相关标准英文版PDF
搜索结果: SJH 21128-2016, SJH21128-2016
标准号码
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状态
SJ 21128-2016
英文版
599
SJ 21128-2016
[PDF]天数 <=4
卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
SJ 21128-2016
有效
基本信息
标准编号
SJ 21128-2016 (SJ21128-2016)
中文名称
卧式等离子体化学气相淀积设备(PECVD)通用规范
英文名称
(General specification for horizontal plasma chemical vapor deposition equipment (PECVD))
行业
电子行业标准
中标分类
L95
字数估计
24,286
发布机构
工业和信息化部
......
英文网页English:
SJH 21128-2016
相关标准:
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