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SJH 21629-2021 相关标准英文版PDF

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SJ 21629-2021 英文版 469 SJ 21629-2021 [PDF]天数 <=4 碳化硅(SiC)外延生长设备工艺验证方法 SJ 21629-2021 有效
基本信息
标准编号 SJ 21629-2021 (SJ21629-2021)
中文名称 碳化硅(SiC)外延生长设备工艺验证方法
英文名称 (Process verification method for silicon carbide (SiC) epitaxial growth equipment)
行业 电子行业标准
中标分类 L95
国际标准分类 31.240
字数估计 21,254
发布日期 2021-12-27
实施日期 2022-03-01
发布机构 工业和信息化部

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英文网页English: SJH 21629-2021

相关标准: SJ/T 11794 | SJ 21622 | SJ 21623 | SJ 21621 |