搜索结果: SJ/T 11184-1998, SJ/T11184-1998, SJT 11184-1998, SJT11184-1998
| 标准编号 | SJ/T 11184-1998 (SJ/T11184-1998) | | 中文名称 | 显影设备通用规范 | | 英文名称 | General specification for developing equipment | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 中标分类 | L97 | | 国际标准分类 | 31.02 | | 字数估计 | 9,983 | | 发布日期 | 3/11/1998 | | 实施日期 | 5/1/1998 | | 旧标准 (被替代) | SJ 3194-1989 | | 引用标准 | GB 191-1990; GB 2681-1981; GB 2682-1981; GB 5080.7-1986; SJ 1635-1996; SJ 20385-1993 | | 标准依据 | 工科(2010) 第77号 | | 范围 | 本标准规定了显影设备的定义、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体集成电路、晶体管中的硅片、石英铬板、玻璃板等(以下简称“基片”)的显影设备。 | ......
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