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收录标准: 222397 (2026-05-14)
SJ/T 11829.1-2022 相关标准英文版PDF
搜索结果: SJ/T 11829.1-2022, SJ/T11829.1-2022, SJT 11829.1-2022, SJT11829.1-2022
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SJ/T 11829.1-2022
英文版
359
SJ/T 11829.1-2022
[PDF]天数 <=4
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第1 部分：管式 PECVD 设备
SJ/T 11829.1-2022
有效
基本信息
标准编号
SJ/T 11829.1-2022 (SJ/T11829.1-2022)
中文名称
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第1 部分：管式 PECVD 设备
英文名称
(Plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD) equipment for crystalline silicon photovoltaic cells - Part 1: Tubular PECVD equipment)
行业
电子行业标准 (推荐)
字数估计
18,117
发布日期
2022-09-30
实施日期
2023-01-01
发布机构
工业和信息化部
范围
本文件规定了晶体硅光伏电池用管式等离子体增强化学气相淀 积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验 方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。本文件适用于晶体硅光伏电池用管式 PECVD 设备，产品主要用 于在晶体硅光伏电池减反射膜、钝化膜的淀积与氢钝化。
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英文网页English:
SJ/T 11829.1-2022
相关标准:
SJ/T 11829.2
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SJ/T 1175
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