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收录标准: 222397 (2026-05-14)
SJ/T 11829.2-2022 相关标准英文版PDF
搜索结果: SJ/T 11829.2-2022, SJ/T11829.2-2022, SJT 11829.2-2022, SJT11829.2-2022
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SJ/T 11829.2-2022
英文版
339
SJ/T 11829.2-2022
[PDF]天数 <=4
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备
SJ/T 11829.2-2022
有效
基本信息
标准编号
SJ/T 11829.2-2022 (SJ/T11829.2-2022)
中文名称
晶体硅光伏电池用等离子体增强化学气相淀积 （PECVD）设备 第2 部分：板式 PECVD 设备
英文名称
(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD) Equipment for Crystalline Silicon Photovoltaic Cells - Part 2: Plate PECVD Equipment)
行业
电子行业标准 (推荐)
字数估计
17,147
发布日期
2022-09-30
实施日期
2023-01-01
发布机构
工业和信息化部
范围
本文件规定了晶体硅光伏电池用板式等离子体增强化学气相淀 积（PECVD）设备的术语和定义、型号命名、工作环境、要求、检验 方法、检验规则以及包装、标志、搬运和运输、贮存等。适用于晶 体硅光伏电池用板式 PECVD 设备。本文件适用于沉积多种薄膜材料，例如，非晶硅（a-Si:H）、微 晶硅（μc-Si:H）、二氧化硅（SiO2）、氧化铝（Al2O3）、氮化硅（SiNx） 薄膜等本征薄膜以及各种掺杂薄膜材料等，薄膜光伏电池、柔性光 伏电池用 PECVD 设备也可参照使用。
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英文网页English:
SJ/T 11829.2-2022
相关标准:
SJ/T 11829.1
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SJ/T 1175
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