搜索结果: SJ/T 11864-2022, SJ/T11864-2022, SJT 11864-2022, SJT11864-2022
| 标准编号 | SJ/T 11864-2022 (SJ/T11864-2022) | | 中文名称 | 半绝缘型碳化硅单晶衬底 | | 英文名称 | (Semi-insulating silicon carbide single crystal substrate) | | 行业 | 电子行业标准 (推荐) | | 字数估计 | 11,170 | | 发布日期 | 2022-09-30 | | 实施日期 | 2023-01-01 | | 发布机构 | 工业和信息化部 | | 范围 | 本文件规定了半绝缘型碳化硅（SiC）单晶衬底的术语、分类、要求、检验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存等。本文件适用于经抛光后制备的Φ50.8 mm，Φ76.2 mm，Φ100.0mm，Φ150.0 mm 半绝缘型 SiC 衬底，晶型为 4H。 | ......
|